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时长:00:00更新时间:2024-11-20 02:45:04
光刻胶按照形成的图像分类,有正性光刻胶和负性光刻胶两大类。正性光刻胶在曝光后,曝光部分会溶解于显影液,留下未曝光的部分形成图形;而负性光刻胶则相反,未曝光部分会溶解,留下曝光部分形成图形。此外,根据曝光光源和辐射源的不同,光刻胶还可分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶、X射线胶、电子束胶和离子束胶等。在集成电路制造过程中,光刻胶的作用至关重要。它被广泛应用于硅片制造、显示面板生产以及半导体分立器件的加工等领域。光刻胶的质量直接影响集成电路的制造成本、良率及性能。随着半导体技术的不断发展,对光刻胶的需求也在稳步增加。
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