等离子体废气处理技术已开发出标准化设备，通过高能电子、自由基等活性粒子激活、电离和裂解工业废气中的成分，使其发生分解、氧化等复杂化学反应，再经过多级净化，从而消除异味、臭味污染物，实现有毒有害气体的低毒化、无毒化，保护人类生存环境。该技术具有高效分解污染物和低能耗的特点，为工业废气处理开辟了新思路。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的第四种物质形态，当外加电压达到气体放电电压时，气体被击穿，形成电子、离子、原子和自由基等混合体。低温等离子体处理污染物是利用高能电子、自由基等活性粒子与废气中污染物的反应，使污染物分子在极短时间内发生分解，并发生后续复杂化学反应，从而达到降解污染物的目的。