低温等离子废气处理技术利用双介质阻挡放电形式产生等离子体，其密度是其他技术的1500倍，最初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解，后扩展至处理工业恶臭、异味及有毒有害气体。这种技术不仅节能且环保，几乎可以处理所有化工生产过程中的恶臭异味，并对二恶英有良好分解效果。
等离子体废气处理技术已开发出标准化设备，通过高能电子、自由基等活性粒子激活、电离和裂解工业废气中的成分，使其发生分解、氧化等复杂化学反应，再经过多级净化，从而消除异味、臭味污染物，实现有毒有害气体的低毒化、无毒化，保护人类生存环境。
该技术具有高效分解污染物和低能耗的特点，为工业废气处理开辟了新思路。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的第四种物质形态，当外加电压达到气体放电电压时，气体被击穿，形成电子、离子、原子和自由基等混合体。低温等离子体处理污染物是利用高能电子、自由基等活性粒子与废气中污染物的反应，使污染物分子在极短时间内发生分解，并发生后续复杂化学反应，从而达到降解污染物的目的。
与传统的电晕放电形式相比，等离子体技术的放电密度是电晕放电的1500倍，这也是传统低温等离子体技术在治理工业废气方面99%失败的原因。等离子体技术具有处理效果好、运行费用低、无二次污染、操作管理简便、即开即用等优点。
等离子体技术应用于恶臭气体治理，具有以下特点：介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，几乎可以与所有恶臭气体分子作用；技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，其他技术气体通过反应区的速度0.01米/秒都很难达到处理效果；部分或全部采用防腐蚀材料，从根本上解决了低温等离子体技术设备腐蚀问题；主机为成套工业废气处理装置，前面配有专用塔，有效去除废气中的粉尘和水分，操作简单；自动化程度高，设备启动、停止迅速，随用随开，节约能源；运行成本低，比常用蓄热式燃烧炉RTO节约费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3～0.9分钱；应用范围广，不受气温和污染物成分影响，对恶臭异味有良好的分解作用，去除率可达80-98%；技术处理工业废气不是水洗技术，而是通过高能量等离子体直接击穿和轰击，使分子链断裂；以非甲烷总烃为例，非甲烷总烃去除率可能只有45%，但恶臭异味去除率达93%；解决了二恶英难题，二恶英类物质含有氯，多数是亲电子基团，更容易被电子轰击。
异味气体通过气体收集系统收集，预处理除水后进入等离子体反应区，在高能电子的作用下，使异味分子受激发，带电粒子或分子间的化学键被打断，同时空气中的水和氧气在高能电子轰击下产生OH自由基、活性氧等强氧化性物质，这些强氧化性物质与异味分子反应，使其分解，从而促进异味消除。净化后的气体经排气筒高空排放。
