个人独资企业注册具体步骤如下：1、咨询工商局窗口受理人员后领取并填写《名称(变更)预先核准申请书》、《指定(委托)书》，同时准备上述的相关材料。2、递交《名称(变更)预先核准申请书》，等待名称核准结果。3、领取《企业名称预先核准通知书》，同时领取《企业设立登记申请书》；经营范围涉及前置审批的(是否涉及前置审批咨询受理人员)，办理相关审批手续。4、递交申请材料，材料齐全，符合法定形式的，等候领取《准予行政许可决定书》。5、领取《准予设立登记通知书》后，按照《准予设立登记通知书》确定的日期到工商局领取营业执照。一、设立个人独资企业需要提供哪些文件。1、投资人签署的个人独资企业设立申请书。2、投资人身份证明。3、企业住所证明。4、国家工商行政管理总局规定提交的其他文件。