免于起诉的程序包括审查、决定不起诉、宣布和送达、善后工作和报请批准。根据《人民检察院刑事诉讼规则》，情节轻微、危害不大、已过追诉时效、特赦、没有告诉或撤回告诉、犯罪嫌疑人或被告人死亡以及其他法律规定免责情形下，可以撤销案件、不起诉、终止审理或宣告无罪。法律分析；免于起诉要走的程序有。(一)审查。经过审查起诉，认为需要作不起诉处理的，承办案件的检察官应当写出审查报告，经部门负责人审核，报主管检察长决定或由主管检察长提交检察委员会讨论决定。(二)决定不起诉。不起诉的决定权由检察长和检察委员会行使。