1、直通率：直通率是对产品从第一道工序开始一次性合格到最后一道工序的参数，能够了解产品生产过程中在所有工序下产品直达到成品的能力，是反映企业质量控制能力的一个参数。2、良率：亦称“合格率”。产品质量指标之一，指合格品量占全部加工品的百分率。在半导体工艺中，生产线良率表征的是晶圆从下线到成功出厂的概率。3、直通率（FirstPassYield，FPY）是衡量生产线出产品质水准的一项指标，用以描述生产质量、工作质量或测试质量的某种状况。具体含义是指，在生产线投入100套材料中，制程第一次就通过了所有测试的良品数量。因此，经过生产线的返工（Rework）或修复才通过测试的产品，将不被列入直通率的计算中。