(1)取碳化硅原料，经破碎机中碎，并筛分至不大于5mm的碳化硅颗粒，再用整形机对其进行整形至不大于2mm的碳化硅颗粒，且其中椭圆形颗粒占80％以上，再对其进行酸洗除杂，干燥。(2)将上述干燥后的碳化硅颗粒用磨粉机粉碎成d50＝9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎时，磨粉机主机电流设定为65-75a，风机流量设定为40-50m3/min，分析机转速为400--600转/分。(3)；然后用涡流式气流分级机对碳化硅粉进行分级，分级时，涡流式气流分级机的风机流量为25-43m3/min，分级轮转速为2600--3300转/分，从分级口分出粒度ds94＝6.5-5.5μm的成品a，旋风口分出ds94≤5.5μm的半成品。