非法制造用于骗取出口退税罪的惩罚包括：伪造、擅自制造相关发票者，处三年以下有期徒刑、拘役或管制，并处二万元以上二十万元以下罚金；数量巨大者，处三年以上七年以下有期徒刑，并处五万元以上五十万元以下罚金；数量特别巨大者，处七年以上有期徒刑，并处五万元以上五十万元以下罚金或没收财产。法律分析；非法制造用于骗取出口退税罪有以下惩罚：伪造、擅自制造可以用于骗取出口退税的其他发票的，处三年以下有期徒刑、拘役或管制，并处二万元以上二十万元以下罚金；数量巨大的，处三年以上七年以下有期徒刑，并处五万元以上五十万元以下罚金；数量特别巨大的，处七年以上有期徒刑，并处五万元以上五十万元以下罚金或没收财产。拓展延伸；非法制造用于骗取出口退税罪的刑罚与法律责任。