设施用地审批流程如下：1、申请使用设施用地的申请人向审批单位提出申请。2、国土员现场勘查，核实是否符合土地利用总体规划。3、报上级国土局审查。4、由上级国土局审批。农业生产经营者需申请设施农用地的，应拟定设施农业建设方案，内容包括项目名称、建设地点、用地面积，设施类型、数量、用地规模等，与土地所有者集体经济组织和土地承包经营权人签订用地协议。5、申报必备材料，镇(街)向区写请示；用地单位向镇街写申请；营业执照或预先核准通知书涉及成立企业的(涉及注册登记企业)；设施农用地审核申请表土地承包经营合同。(土地使用者与集体土地承包经营户签订，未承包到户的集体土地与土地所有者签订。签订合同的用地主体与镇办请示的主体、复垦保证书主、业执照的法人四者必须统一)。