溅射靶材的概念。答案。溅射靶材是用于物理气相沉积工艺中的一种关键材料。在薄膜制备和表面涂层技术中，通过溅射方法将靶材的原子或分子从固态表面转移到基材上，形成薄膜或涂层。溅射靶材的质量和性能直接影响薄膜的质量和性能。解释。溅射靶材是溅射沉积技术中的核心组成部分。在物理气相沉积过程中，溅射靶材作为源头材料，通过高能粒子轰击其表面，使其原子或分子从表面逸出并沉积在基材上。这种技术广泛应用于制造各种薄膜和涂层，如金属、半导体和绝缘材料的薄膜。溅射靶材的选择非常关键，因为它直接影响到所制备薄膜的性能。不同的靶材材料可以产生不同的薄膜性质，如硬度、耐磨性、电学性能和光学性能等。因此，溅射靶材必须是高纯度、高质量的材料，以确保所制备的薄膜具有所需的特性和性能。