1、光刻技术：这是微加工中最常用的方法之一，通过使用光敏材料（如光刻胶）和光掩模，可以精确地在硅片或材料上形成微小图案。光刻技术可以用于制造具有复杂几何形状的微结构。2、电子束光刻：对于需要极高分辨率的应用，电子束光刻是一种高精度的微加工技术。电子束光刻使用电子束直接在光敏材料上刻写图案，适用于小批量生产和研究开发。3、离子束蚀刻：这种方法使用离子束对材料进行物理或化学蚀刻，可以在硬质材料上制造出非常精细的结构。4、激光微加工：激光微加工利用聚焦的激光束对材料进行局部熔化、蒸发或化学蚀刻，适用于多种材料的微细加工。