MEMS技术是一种微电子机械系统技术。MEMS技术是建立在微电子技术基础之上的一种微型化机械系统制造技术。具体来说，它是结合了微电子和微机械加工技术的跨学科领域，通过在硅片上制造微型机械结构来实现各种功能。详细解释。1.基本定义：MEMS，即微电子机械系统，是一种微型化的机械构造，这些机械结构通常在微米至毫米的尺度范围内。由于这种微型化的特性，MEMS技术广泛应用于各种领域，如航空航天、汽车、生物医学、通信和消费电子产品等。2.技术特点：MEMS技术利用先进的制造方法在硅片上构建微型结构，这些结构包括传感器、执行器、阀门和其他机械元件。这些元件的尺寸虽小，但功能齐全，具有高性能、低功耗和低成本等特点。此外，MEMS技术还能够实现高度集成和复杂的系统组合。