至于制备金属钛薄膜，一种常见的方法是磁控溅射法。这种方法使用高纯金属Ti作为靶材，改变不同的制备参数，如溅射压强、溅射功率、退火温度，可以得到不同结构和形貌的金属Ti薄膜4。沉积的金属钛薄膜在空气气氛中，较低温度条件下（400℃～600℃）退火容易向锐钛矿相转变，在较高温度条件下（800℃～1000℃）退火金属钛薄膜开始先生成锐钛矿相转变，接着转变为金红石相。所以，虽然金属热还原法可以制备金属钛，但是如果要制备金属钛薄膜，可能需要采用其他的方法，如磁控溅射法。