该系统采用气水联合冲洗方式，反洗空气由风机提供，而反洗水则由自来水供应。系统产生的废水会被导入污水处理系统进行处理。在高效过滤器检漏过程中，通常会使用尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器这两种仪器。尘埃粒子计数器用于测量洁净环境中单位体积空气内尘埃粒子的大小和数量，适用于洁净度等级从十级到三十万级的环境，具备小巧、轻便、检测精度高、操作简便等特点，借助微处理器控制，可以存储和打印测试结果。5C气溶胶发生器则能够生成一致且多种直径分布的气溶胶粒子，当与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计结合使用时，能够为高效过滤系统的检测提供足够的挑战粒子，确保系统性能的准确评估。