臭氧发生器则是通过O2与高压放电作用生成O3。设计时需注意O3浓度，过大会对健康造成危害。相比之下，臭氧发生器在无人员空间进行时，可有效杀菌消毒。等离子发生器则利用低电压升压电路产生正高压及负高压，电离空气产生大量正离子和负离子。由于负离子数量远超正离子，它们能快速中和，实现空气消烟、除尘、除异味的效果，促进人体健康。与负离子发生器相比，等离子发生器的杀菌效果更强。与臭氧发生器相比，等离子发生器产生的正负离子在空气中迅速中和，避免了臭氧可能带来的对人体的伤害。因此，在有人空间内使用等离子发生器进行空气净化和杀菌是安全的。维他氧发生器，实质上就是一个空气清洁装置。它通过生成负离子来改善空气品质，但其效果不如等离子发生器全面。