纳米材料指的是至少在三维空间中有一维处于纳米尺度范围（1-100nm）或由它们构成的基本单元材料。这种材料大约相当于10至100个原子紧密排列的尺度。纳米技术广义上涵盖了纳米材料技术、纳米加工技术、纳米测量技术和纳米应用技术等多个方面。具体来说，纳米材料技术专注于纳米功能性材料的生产，如超微粉、镀膜和纳米改性材料，并涉及性能检测技术，包括化学组成、微结构、表面形态及物、化、电、磁、热及光学等性能的检测。纳米加工技术则包括精密加工技术，例如能量束加工，以及扫描探针技术等。