专题文章
时长:00:00更新时间:2024-12-05 09:04:59
首先,光刻机在制造芯片时,会在晶圆表面涂上一层光刻胶。这一步骤类似于为晶圆披上了一层“魔法斗篷”,以便在后续的加工过程中保护晶圆表面。光刻胶是一种特殊的聚合物材料,对光线敏感,能够在曝光后发生化学反应。接下来是曝光步骤。在这一环节中,光刻机的光源通过掩膜版将图形精确地投射到涂有光刻胶的晶圆上。光源发出的光线,如紫外线或极紫外光,具有极短的波长和高能量,能够穿透掩膜版上的透明部分,而被不透明部分阻挡。这样,掩膜版上的图案就被精确地“刻画”在了晶圆表面的光刻胶上。
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