比对法则适用于评定那些没有合适精度标准器可供检定的高精度测量工具。比如激光干涉仪和激光干涉比长仪等，这类工具的精确度非常高，难以用其他标准器进行检定。比对法通过使用两台或以上相同精度等级的测量工具相互对比，来确定其精确度。误差分离法则针对高精度且具有封闭圆周角的测量工具。比如在检定1级平晶时，可以利用三块平晶1、2、3的平面度误差分别为x、y、z。通过将它们按特定方式组合起来互检，可以得出一系列量值，再通过解方程求出x、y、z的准确值。此外，这种方法也适用于检定圆度仪和多齿分度台，通过多次转位分离出玻璃球和圆度仪精密轴系各自的误差，或者利用封闭圆周特性，将两台多齿分度圆台重叠在一起，各自向相反方向转动相同角度，从中求得每台各自的分度误差。