首先，应当断开进入机柜的伴热管，进行抽空气操作，观察气室压力的变化。如果压力有所回升，这可能意味着伴热管或采样探头存在堵塞问题。如果上述操作后气室压力无明显变化，下一步是拆卸第二级过滤器，再次抽空气，观察压力是否有所变动。如果压力依然没有变化，可以继续向下排查，直至射流泵位置。如果在整个过程中压力都没有变化，这可能指示压力传感器存在问题。如果在检查过程中发现压力有所变化，这通常意味着管路内部可能存在堵塞物。进一步的检查和清理工作可以帮助恢复正常气室压力。在整个排查过程中，保持耐心和细致是关键。通过逐步排除可能的问题点，可以逐步锁定问题所在，并采取相应的措施进行修复。