1、化学成分：是决定纳米粒子及其制品性能的最基本因素。常用的仪器分析法主要是利用各种化学成分的特征谱线，如采用X射线荧光分析和电子保针微区分析法可对纳米材料的整体及微区的化学组成进行测定。可以与扫描电子显微镜SEM配合，使之既能利用探测从样品上发出的特征X射线来进行元素分析，又可以利用二次电子、背散射电子、吸收电子信号等观察样品的形貌图像。可以根据扫描图像边观察边分析成分，把样品的形貌和所对应微区的成分有机的联系起来，进一步揭示图像的本质质。此外，还可以采用原子发射光谱AES、原子吸收光谱AAS对纳米材料的化学成分进行定性、定量分析；采用X射线光电子能谱法XPS可分析纳米材料的表一面化学组成、原子态、表面形貌、表面微细结构状态及表面能态分布等。