真空泵、真空计及各种阀门和管件。对水冷机箱体进行清洗，确保内外表面均干燥后，打开循环泵，将箱体内的水全部排出。关闭水冷机箱体进出水阀门和泵阀门，根据泵的型号以及真空计表盘刻度选定最大抽速和最大压力，先开启低真空泵加泵锅，连续抽真空时间不要少于4小时，最后使用高真空泵加锅，将抽速开到最大。时刻关注监测箱体内真空度，并记录泵的抽速及序列，当箱体内真空度稳定在10Pa以下时，关掉泵进行检漏，待检漏合格后，加注润滑油，并对泵进行检查、保养。