肖特基缺陷是一种化合物半导体中的点缺陷。氯化镁肖特基缺陷是由于晶体表面附近的原子热运动到表面，在原来的原子位置留出空位，然后内部邻近的原子再进入这个空位，这样逐步进行而造成的，看来就好像是晶体内部原子跑到晶体表面来了。对于离子晶体，阴阳离子空位总是成对出现但若是单质，则无这种情况。除了表面外，肖特基缺陷也可在位错或晶界上产生，这种缺陷在晶体内也能运动，也存在着产生和复合的动态平衡，对一定的晶体来说，在确定的温度下，缺陷的浓度也是一定的。