专题文章
时长:00:00更新时间:2024-10-05 19:43:06
光刻机是一种可以制造芯片的机器。光刻机是一种在半导体制造过程中使用的高精度设备,用于将光敏剂覆盖在硅片或其他基板上,并通过光源和光学系统投射光线形成图案,从而进行微米级或纳米级的图案转移。光刻技术是半导体工艺中十分关键的步骤,用于制作芯片上的各种结构,如晶体管、连线、电容等。光刻机的主要组成部分包括光源、掩膜、光学系统、投影镜头、底层对准装置和运动控制系统等。首先,通过光学系统将光源发出的光线聚焦到掩膜上,然后通过复杂的光学设计和投影镜头将掩膜上的图案缩小并投影到硅片或基板上,形成所需的图案。
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