千级超净间测点总数不小于20点，测点间距为0.5-2.0米，粒径大于或等于0.5μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流千级超净间测点仅布置在第洁净工作区内。乱流千级超净间可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点，每增加20-50平方米，增加3-5个测点。千级超净间数据整理：每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定：千级超净间取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。千级超净间正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。无尘室等级大都为1000级和100级的居多，数字越小，洁净等级越高。千级超净间1000级的概念是：每立方英尺内，大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗。