扫描电镜样品要求有形貌形态，要耐高真空、样品表面不能含有有机油脂类污染物、样品要是干燥的、样品表面可以导电等等。1、形貌形态，要耐高真空。扫描电镜是靠电子束扫描物体表面来成像的。空气的存在会使的电子束变型，影响扫描效果，所以被测样品比较能耐高真空。2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。油污在电子束作用下容易分解成碳氢化物，对真空环境造成很大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖；碳氢化合物降低了成像信号产量；碳氢化合物吸附在电子束光路引起很大象散；碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面，降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。3、样品要是干燥的；水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发，从而很大降低灯丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而增加大的色差，降低分辨能力。