专题文章
时长:00:00更新时间:2024-10-20 12:21:38
1、首先,晶圆制造厂会将硅纯化,溶解成液态,从中拉出柱状的硅晶柱。一边旋转一边成型,旋转拉起的速度以及温度的控制影响到整体质量。晶柱切成薄片,经过抛光后,变成晶圆。2、硅纯度,拉晶速度与温度控制,晶圆会在无尘的状态下送到无尘室并分装到密封的容器中。3、光罩制作。光罩厂会将完成的光罩送进晶圆厂。晶圆上面会事先涂上一层光阻,透过紫外光的照射与凸透镜聚光效果。光罩上的电路结构被缩小并烙印在晶圆上,最后印在晶圆上的半导体回路会从光罩的1微米,变为0.1微米。光刻制程结束后,工程师会在晶圆上加入离子。透过注入杂质到硅的结构中控制导电性,与一连串的物理过程,制造出电晶体。
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