1、初级热分解阶段：当三乙氧基丙基氯化铵受热时，会发生脱除乙氧基的反应，释放出乙醇，这是因为三乙氧基丙基氯化铵分子中的硅醇缩合物易于水解，这一过程是逐步的，随着温度升高，越来越多的乙氧基会被脱除，直至完全转化为相应的硅醇缩合物。2、进一步热分解：随着温度继续升高，硅醇缩合物会发生进一步的分解，产生硅氧烷和其余的分解产物，这些分解产物的具体类型取决于热分解的温度和条件。3、完全分解：在高温下，三乙氧基丙基氯化铵最终会完全分解，形成一系列复杂的分解产物，包括硅氧化物、氯化氢气体以及其余小分子气体如乙烯、一氧化碳和二氧化碳等。