为什么中国不缺氖气
来源：动视网
责编：小OO
时间：2024-07-29 00:23:32
为什么中国不缺氖气
高纯氖气量产提纯的技术门槛很高，能达标的企业屈指可数，但由于中国是全球钢铁大国，氖气是钢铁行业的副产品。氖气是光刻气中主要成分，据咨询机构Trendforce统计，氖气主要应用于氟化氪(KrF)、氟化氩(ArF)等较为成熟的深紫外(DUV)波长光刻曝光环节，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占到气体混合物成分的96%以上，相关工艺覆盖从8英寸晶圆180nm到12英寸晶圆1Xnm的制程节点，全球晶圆代工产能有75%位于这一制程区间。
导读高纯氖气量产提纯的技术门槛很高，能达标的企业屈指可数，但由于中国是全球钢铁大国，氖气是钢铁行业的副产品。氖气是光刻气中主要成分，据咨询机构Trendforce统计，氖气主要应用于氟化氪(KrF)、氟化氩(ArF)等较为成熟的深紫外(DUV)波长光刻曝光环节，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占到气体混合物成分的96%以上，相关工艺覆盖从8英寸晶圆180nm到12英寸晶圆1Xnm的制程节点，全球晶圆代工产能有75%位于这一制程区间。
国内氖气90%是我们自己供应。高纯氖气量产提纯的技术门槛很高，能达标的企业屈指可数，但由于中国是全球钢铁大国，氖气是钢铁行业的副产品。
氖气是光刻气中主要成分，据咨询机构Trendforce统计，氖气主要应用于氟化氪(KrF)、氟化氩(ArF)等较为成熟的深紫外(DUV)波长光刻曝光环节，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占到气体混合物成分的96%以上，相关工艺覆盖从8英寸晶圆180nm到12英寸晶圆1Xnm的制程节点，全球晶圆代工产能有75%位于这一制程区间。
为什么中国不缺氖气
高纯氖气量产提纯的技术门槛很高，能达标的企业屈指可数，但由于中国是全球钢铁大国，氖气是钢铁行业的副产品。氖气是光刻气中主要成分，据咨询机构Trendforce统计，氖气主要应用于氟化氪(KrF)、氟化氩(ArF)等较为成熟的深紫外(DUV)波长光刻曝光环节，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占到气体混合物成分的96%以上，相关工艺覆盖从8英寸晶圆180nm到12英寸晶圆1Xnm的制程节点，全球晶圆代工产能有75%位于这一制程区间。
