1《直拉单晶硅工艺技术》

（在对应栏目中填写学时数）

1.1-1.4晶体基础知识（一）

教学要求：

1、熟悉晶体基本知识

1

周

1.1-1.4晶体基础知识（二）

教学要求：

1、熟悉晶体基本知识

1

周

    2.1-2.5直拉单晶炉

教学要求：

了解直拉单晶炉各部分功能；

2

周

单晶硅料与多晶硅料的认识

教学要求：

认识单晶硅料、多晶硅料；

2

周

    3.1热系统

教学要求：

1、掌握热场的含义表示方法；

2、熟悉动态热场和静态热场及其对单晶生长的影响。

3

周

   3.2-3.3安装与对中

教学要求：

1、熟悉安装对中的方法；

2、了解安装对中的不同步骤的参照。

3

周

    3.4温度梯度与生长

教学要求：

1、熟悉温度梯度对单晶生长的影响；

4

周

     3.5热场的调整

教学要求：

熟悉热场调整的方法；

4

周

    单晶晶相观察

教学要求：

    1、熟悉碳化硅陶瓷的制备工艺；

    2、掌握碳化硅陶瓷的主要性能。

    4控制器

教学要求：

了解控制器的功能和设置。

5

周

    5.1硅原料

教学要求：

了解硅原料的来源；。

6

周

   5.2-5.3石英坩埚

教学要求：

1、了解石英坩埚的制造；

2、熟悉石英坩埚的质检和使用中损坏形式。

6

周

    多晶硅装料参观

教学要求：

掌握多晶硅装料的方法；

    5.4.5.7原辅料、自动硅料清洗机

教学要求：

1、熟悉直拉单晶用到的原辅料和处理方法。

2、了解硅料清洗机的使用。

7

周

    6.1-6.2直拉工艺流程

教学要求：

掌握直拉工艺的整理流程

8

周

   6.3-6.4抽空及熔料

教学要求：

1、掌握抽空熔料环节温度压力的控制

2、熟悉当中的部分参数

8

周

   6.5-6.6收尾及停炉

教学要求：

1、掌握收尾停炉的工艺；

2、熟悉常见生产故障/事故的处理方法。

9

周

    6.7拉速温校曲线的设定

教学要求：

了解拉速及温校曲线大致走势；

9

周

   6.8-6.9坩埚升速的计算

教学要求：

掌握坩埚升速的计算方法

10

周

    7.1光伏产业简介

教学要求：

1、了解光伏材料的发展方向；

2、熟悉光伏材料制造的常用方法。

10

周

    坩埚喷涂的参观

教学要求：

熟悉坩埚喷涂的方法和注意事项。

    7.2多晶硅炉结构（一）

教学要求： 

掌握多晶硅炉结构。

11

周

    7.2多晶硅炉结构（二）

教学要求： 

    掌握多晶硅炉结构。

12

周

    多晶硅生产工艺（一）

教学要求：

     1、掌握多晶硅声场工艺。

     2、具熟悉体操作步骤

12

周

    多晶硅生产工艺（二）

教学要求：

     1、掌握多晶硅声场工艺。

     2、具熟悉体操作步骤

13

周

   7.4多晶硅优缺点

教学要求：

1、了解多晶硅的优缺点；

2、更具具体要求选取合理的生产工艺。

13

周

    8.1-8.2杂质

教学要求：

掌握硅材料提纯中的杂质种类及杂质来源

14

周

    8.3分凝效应

教学要求：

1、掌握分凝效应的原理；

2、熟悉利用分凝效应提纯硅材料。

14

周

    8.5 Keff和Ko关系

教学要求：

  掌握Keff和Ko关系；

15

周

   8.7掺杂

教学要求：

1、熟悉掺杂的分类；

2、掌握掺杂的方法。

15

周

    参观多晶硅炉

教学要求：

熟悉多晶硅炉的构造以及作用

16

周

   复习

16

周