3单晶车间操作法_操作手册_作业指导书

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苏州世宗新能源有限公司

2、关闭主泵球阀；

3、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；

4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；

5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；

6、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；

注意事项及原由：

1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；

2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；

3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；

4、处理废油时注意泵房卫生；

5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；

6、出现异常立刻处理并报告班长；

1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；

2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；

3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；

4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；

注意事项及原由

1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；

2、70泵切记安装滤网，喷对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；

3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；

4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；

5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；

1、打开真空泵注油口；

2、将加油漏斗放入真空泵注油口；

3、用吸油从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；

4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；

5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；

6、装上尾气管，盖好注油口；

7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作；

注意事项及原由

1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；

2、注油时注意注掉落且不要超过上限油位以防喷油；

3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；

4、注意清理真空泵及周围卫生；

5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；

6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；

     二、清泵

 三、注 油

    一 、作业准备

    二、单晶取出

1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾；

2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；

3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；

2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；

3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；

1、待单晶冷却5小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；

2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行热检漏并相应记录；

3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量为20升/分，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；

4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；

5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；

6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；

7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置；

8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序；

注意事项及原由

1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废；

2、泄漏率﹤4pa/10min 为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录；

3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落；

4、取单晶的小车应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；

5、剪断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高不可以用手直接接触）；

6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶；

7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；

  一、取出导流筒及保温盖

二、取出埚底硅料

1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂勾；

2、戴好手套及耐高温手套；

3、按顺序取出导流筒和保温盖；

4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；  

1、戴好耐高温手套和准备好钳子；

2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；

3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；

注意事项及原由

1、所需要物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；

2、取导流筒及保温盖时要从炉内向上平移轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件是碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔取光发生偏移，造成欧路控制温度精度，而影响晶体直径控制；

3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，且保持洁净状态，一是为了防止金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时扩散到坩埚硅熔体里，降低单晶硅少子寿命，影响产品质量；二是防止石墨件再次污染；

4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小心取埚底料，应避免埚底料从热场的缝隙掉下，这工序把埚内的料全部取出；

5、待石英坩埚和埚底冷却后，放入指定的箱子并做好编号；

一、做业准备

二、清理大罐

1、准备好毛刷、吸管、专用工具；

2、带好手套、防尘口罩；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费

1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；

2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；

3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；

4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；

5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；

6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；

7、清洁大罐表面卫生；

注意事项及原由

1、打开大罐前确认真空泵球阀和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染；

2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害；

3、盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净；

4、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空；

5、大罐内氧化物容易飘散，在清扫时应竟量避免与周围作业造成交叉沾污；

一、作业准备

二、管道的清扫

三、炉盖清扫

1、带口罩、手套；

2、准备好防尘口罩、纸巾、酒精、清扫用的氮气、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品；

注意事项及原由

1、工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；

2、所用物品必须洁净、就近摆放整齐。物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费；

1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；

小付室的清扫

1、打开副炉室门；

2、用粘有酒精的纸巾擦拭小付室的附着物；

3、用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口、其它小孔及隔离阀四周及转轴（旋转隔离阀的小付室要认真擦拭到腔体内的每个角落）；

注意事项及原由

  先清理小付室。如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板或旋转阀时都会给清理过的炉盖造成沾污；

4、隔离阀板的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭；

5、擦拭的部位要氩气或氮气认真吹净直至确认无污染；

6、以上做过的部位反复操作，直至确认无污染；

7、清扫过的小付室将隔离阀盖住阀口，并关闭付室小门；

8、用洁净的纸巾将小付室上口盖住；

三、炉盖清扫

1、氧化物附着较多时，先用毛刷及吸尘器处理；

2、清扫付室抽气孔时要把纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理。当出现倒吸气情况时要将付室抽气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净；

3、用氩气或氮气吹扫时应注意向外或向下吹，这样会将附着物及纸巾碎屑完全吹出小付室；

4、反复操作有利于彻底清除污物；

5、盖住阀口，防止在清理炉盖时将污物带入小附室；

6、注意阀板上的钢丝水管是否拧劲儿，接头是否松动漏水，造成不成晶；

7、注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽，尤其是旋转阀操作时要提升到位一面磕碰密封圈导致密封圈出槽或损坏；

8 用纸巾盖住小附上口防止空气中的污物进入小付室；

9 出现异常立刻处理，并报告组长或车间主管；

1、先用纸巾擦拭内壁（先用毛刷、吸尘器清理一次）；

2、小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接接口等不易清扫的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦拭，直至确认无污物；

3、用氩气或氮气将擦拭过的部位认真吹净，直至确认无污物；

4、以上做过的部位反复操作，直至确认无污物；

注意事项及原由

1、氧化物较多时（停电、真空泵故障等造成返气）先用毛刷和吸尘器清理；

2、硅氧化物强力附着时，会造成炉盖局部发黑、发白，要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物；

3、观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。

4、反复操作有利于彻底清除污物；

 一、石墨件的清扫 

1、单晶炉需安装新的18英寸热场和石墨毡，其操作步骤详见《热场（石墨件）的清理和石墨毡包扎》工序；

2、石墨件必须在指定的清扫台进行清扫；

3、准备好清扫用品（毛刷、纸巾、氩气或氮气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；

4、依次用毛刷、吸尘器、纸巾、清扫石墨件，直至确认无污物；

5、沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨，而后进行2、3的操作；

注意事项及原由

1、清扫台内及周围环境必须洁净；

2、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；

3、操作时要轻拿轻放原则，以免造成石墨件的损坏；

4、依次按三瓣埚、埚底、埚杆、导流筒、保温盖（必须分开清理）的先后顺序进行认真的清扫并吹净直至无污物；

5、清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净的小车上；

6、必须保证氩气或氮气的压力；

7、清扫时注意检查各个石墨件是否有损坏或粘硅；

8、清扫垃圾放入垃圾筒内定期处理；

9、清扫完毕后的石墨件禁止叠加放置；

10、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；

   一、炉内的清扫及检查 

1、准备好毛刷和吸尘器的专用工具；

2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；

3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；

4、检查电极螺丝是否松动、脱落或粘硅；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的浪费；

2、加热器清理不净，容易在加热时氧化物会迅速挥发扩散，从而严重污染原料；

3、电极螺丝如果松动、脱落或粘硅，在化料时很可能引起打火，造成事故；

4、如果在拆炉时不小心引起热场移动活转动一定要检查热场是否对称，侧温孔是否校正。（如图所示，距离是否一至）；

5、用带有酒精的纸巾清理炉筒内壁上部；

注意事项及原由

1、炉底必须清理洁净不然会造成化料时污染物挥发影响料的质量，再就是不挥发的杂质渗透到炉底影响下保温，或则操作时不慎会掉进波纹管内造成液面抖不成晶，严重时造成事故；

2、在清理废气孔时必须作到两侧彻底清理，若两侧的废气孔抽气速率不同会造成气流向某一侧偏移而导致单晶晃，若两侧都是疏通不畅会影响抽气速率，致使炉壁、炉盖、石墨件大量附着氧化发物；

3、热场不对称一是造成单晶摆动，二是单晶摆动会碰到导流筒；

4、在清扫炉内过程中，可能有残渣再次掉落；

5、如果侧温孔有偏离会影响测光信号导致欧陆数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无法成晶；

   一、热场的取出 

准备工具

1、准备好不锈钢小车及专用工具；

2、戴好手套及耐高温手套；

注意事项及原由

  所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的浪费。

取出石墨件详见《石墨件的取出操作》

升起炉筒

1、取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置，以免损坏或丢失；

2、打开液压泵开关；

3、按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位；

4、旋转炉筒，并降至适当的位置；

注意事项及原由

1、炉筒升起过程中注意与炉盖的间隙，切记与炉盖发生接触。否则会油缸损坏或炉盖、炉筒、对应支架、液压缸柱发生变形损坏；

2、炉筒上升一定要到上限，否则在旋转炉筒时造成炉筒机械限位损坏；

3、旋转后的炉筒一定要降到适当的位置，否则炉筒的突然下滑造成人员的伤害，另外不下降长期会导致油缸导柱弯曲变形；

取出热场

1、依次取出保温材料放在不锈钢小车上，移至适当位置自然冷却；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；

2、取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌成型毡、加热器的碰撞造成损坏；

3、用专用工具取下电极螺丝而后取下加热器移至指定区域自然冷却；

4、取出成型炉底毡（16寸热系统要先取出电极）；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的浪费；

2、取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切记成型毡、加热器容易碰撞造成损坏；

3、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；

二、热场的清理及安装

 三、炉筒复位

1、准备好毛刷、吸管、纸巾、研磨布、石墨纸等所需物品；

2、用吸管、毛刷清扫不锈钢炉底、电极柱，直至无污染；

3、用毛刷、吸管认真清扫成型毡、炉底各部位；

4、清扫后成型毡炉底装好；

5、用毛刷、吸尘器、氮气或氩气依次清扫保温筒、成型毡保温材料，清扫后是保温材料依次装好；

6、用毛刷、吸尘器清扫加热器后，用研磨布、吸尘器认真打磨加热器上挥发物；

7、再次用毛刷、吸尘器吸净加热器，后用氮气或氩气认真吹净加热器，直至确认无污染；

8、清扫后的加热器装好（16寸热系统先装好电极脚）；

9、用沾有酒精纸巾清扫主室炉筒及测取光孔，直至确认无污染；

注意事项及原由

1、清扫不锈钢炉底时，一定注意将两边抽气管道彻底清理，否则可能会造成管道堵塞，影响抽速；

2、清扫电极柱时要检查接触面是否平整；

3、清扫成型毡时要彻底清扫废气孔，安装炉底及成型毡时候要慎重作业，防止磕碰成型毡造成损坏；

4、清扫及安装加热器时要慎重作业，防止损坏加热器；

5、电极柱、电极脚、加热器各接触面保证平整，安装时要在接触面上垫一层石墨纸，防止热场打火；

1、打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精是纸巾擦拭下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时移动炉筒到适当位置；

2、按炉筒降，降炉筒至下限；

3、炉筒降到位后，校对测温孔，转入日常清理工序；

注意事项及原由

1、移动炉筒时，要确认炉筒与炉盖的间隙，防止损坏炉筒及炉盖的支架和油缸导柱；

2、确认炉筒是否降至下限，否则会造成抽空漏气；

3、要认真校对测温孔，防止测光信号过小而无法温度自控；

一、安装石墨件

  二、装料准备

 三、石英坩埚的检查安装

1、用专用工具装好埚杆；

2、依次装好埚底、埚盘；

3、石墨件安装完毕后，如热场需要煅烧，则进入《安装导流筒及大盖》、《合好炉盖》、《副室的清扫、安装》、《安装籽晶》、《抽空》和《煅烧》工序； 

注意事项及原由

1、装埚杆、埚底、埚盘时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器；

2、一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动；

3、确认埚底、埚底、埚盘是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或车间主管；

1、炉筒、炉盖的外侧及周边，用沾有酒精的纸巾擦拭干净，炉体周围地面认真打扫；

2、从指定的场所取指定的硅原材料及石英坩埚；

3、将取来的硅原材料放在装料台上；

4、带好防尘口罩、装料用的手套；

5、远离操作区，用氮气将操作者身上浮尘吹净；

注意事项及原由

1、彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染；

2、取来的硅原材料及石英坩埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数；

3、吹扫操作者身上灰尘，远离操作区，防止环境交叉污染。

1、打开石英坩埚包装，对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；

2、若无异常，用氮气或氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；

3、在炉内的石墨埚上装好石英坩埚；

注意事项及原由

1、一定要仔细检查石英坩埚是否有异常，石英坩埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅；

2、石英坩埚内残留浮尘会严重影响成晶，吹扫时不要使氮气或氩气管碰到石英坩埚内壁；

3、注意安装时要注意石英坩埚与石墨坩埚的间隙，要均匀一致，否则会导致石英坩埚变形造成液面抖动；不利于单晶成晶；

   一、装料

二、安装导流简及大盖

1、更换装料用的一次性塑料手套；

2、将母合金放入石英坩埚内；

3、在埚底平铺一层粉、小型硅料，然后将大型硅料放在上面；

4、在大型硅料之间的间隙里填充粉、小型硅料；

5、在大块硅料装完后，再装中型硅料；

6、在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；

7、最后将硅料堆成金字塔形状，有利于放导流筒；

注意事项及原由

1、更换手套，防止污染原料；

2、先将合金放入石英坩埚，防止遗忘；

3、装料时要就轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚造成事故；

4、装料用手套不要接触周边物品，装料用手套注意更换，防止手套破损，掉入埚内污染材料；

5、装料时注意不要使硅料伸出石英坩埚，否则会在化料过程中硅液流下损坏石墨件，甚至使整炉硅料报废；

6、装料时要慎重作业，不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙，以免造成加热器短路打火，跳闸，甚至损坏加热器；

7、装料时一定要使合理搭配，防止化料埚位过低，造成漏硅；

8、装料时保证装硅料质量的情况下，应提高装料速度，降低装料过程中硅材料被污染；

1、装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况；

2、清洁周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣；

3、确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；

注意事项及原由

1、给埚转2/RPM，降埚时便于查看加热器与保温材料间是否有硅料，以便及时处理；

2、吸净灰尘、硅渣，可防止在后续工作中掉入埚熔体中影响成晶，此时必须确认吸管在干净状态，防止污染材料；

3、保温盖、导流筒安装前远离装料区用氮气或氩气吹净表面；

4、安装保温盖、导流筒时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅材料发生接触时调整料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅；

一、 合好炉盖

  二、 副室的清扫安装

1、用沾有酒精的纸巾擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；

2、打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖；

注意事项及原由

1、在下降炉盖时一定要注意炉盖限位是否正常，防止与炉盖与保温盖接触，损坏石墨件；

2、炉盖降到位后要确认炉盖是否合到位，防止抽空时漏气；

1、准备好清扫棒、纸巾、酒精、氮气或氩气；

2、在清扫棒上缠上沾有酒精的纸巾，清扫副室内部至上部；

3、用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物；

4、快速降下籽晶卡头，用氮气或氩气吹扫钢丝绳并检查；

5、用沾有酒精的纸巾认真擦拭重锤及钼夹头，最后用氮气或氩气认真吹净；

6、按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的纸巾擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全、洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；

2、副室上部也要清扫，副室内腔部位用氮气或氩气认真吹扫；

3、擦拭过的重锤及钼夹头一定要用氮气或氩气吹净，防止残留纸巾碎屑；

4、如需要对重锤卫生清洁时，将其拿下用研磨布认真打磨，并清扫干净，摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上造成钢丝绳出槽；

5、清扫钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有，则应截去一截钢丝绳，重新固定，并检查行程是否达到要求，否则，应更换新的钢丝绳；

6、升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳；

7、要缓慢移动副室，防止重锤与副室内壁碰撞；

三、安装籽晶

1、从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来并加以检查；

2、用沾有酒精的纸巾认真擦拭籽晶，并用氮气或氩气吹净；

3、把籽晶装在夹头上，装好钼销；

4、用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置；

5、用沾有酒精的纸巾擦拭副室小门的封密圈和接合部；

6、打开隔离阀，关闭副室小门，拧紧四个螺栓，开始抽空；

注意事项及原由

1、注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶；

2、籽晶上升到适当的位置后，确认隔离阀打开时不会碰到籽晶，后方可关闭小门；

3、打开隔离阀不要用力过猛，否则可能会损坏或挤出阀口密封圈；

4、对于没有副室小门的单晶炉则在安装副室前安装籽晶；

5、抽空前检查钢丝绳是否与卷轮吻合，以防钢丝绳出槽，造成重锤或单晶棒下坠，甚至重锤或单晶棒脱落到坩埚内，造成恶性事故；

一、抽空

二、加热化料

1、打开真空泵电源；

2、缓慢打开球阀；

3、抽空后炉内力达＜20Pa时，进行反复充氩气，使炉内压力＜5Pa；

4、关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；

 注意事项及原由

1、 真空泵开启时应点动几次真空泵开关按纽，以防真空泵直接起动电流过大损坏电机、泵、及线路控制系统；

2、 真空泵球阀必须缓慢打开，否则会造成泵或电机瞬间电流过大损坏电机，泵及线路控制系统还会造成真空泵向尾气管内喷油，造成真空泵油量不足影响抽空和真空泵的寿命以至造成真空泵的卡死；

3、进行充气时，对流量计的使用必须打开流量计球阀，而后缓慢打开流量计针阀，关闭时，先关闭流量计球阀后，关闭流量计针阀，否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管。切记流量计所有开关在不使用时处于关闭状态；

4、反复充氩气，如炉内真空达不到规定真空的要求时，应及时报告有关人员进行处理；

5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；

1、抽空完成后，漏率达到要求后，打开真空球阀，打开氩气阀门，设定流量为20SLP，使炉内压力达到1000Pa左右；

2、确认单晶炉进水、出水开关打开，并检查各进水分支开关已打开；

3、打开功率、加热电源开关；

4、根据通过欧陆手动状态的OP功能，分步增加功率； 

注意事项及原由

1、充入氩气时对流量计的使用，必须先打开流量计球阀，而后缓慢打开流量计针阀。关闭先关闭流量计球阀而后关闭流量计针阀。否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管。切记流量计所有开关在不使用时处于关闭状态；

2、对欧陆的使用应小心操作，防止功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而打火或损坏；

3、应严格按照加热顺序进行加热，否则可能会温度突然上升造成石英坩埚热应力过大破裂而漏硅；

4、化料过程中时刻注意观察炉内的情况，若无异常塌料后给埚转2 rp/min.；

5、料化完后，降低加热功率至引颈温度（与上炉对应）,将埚转设定为6.5转/分；

6、欧陆值降至引颈温度对应的数值时切入自动，将埚升至引颈埚位稳定即导流筒至液面距离为15mm左右；

一、加热化料

注意事项及原由

1、必须时刻注意观察炉内的情况，以防导流筒粘硅、石英坩埚粘硅、漏硅、石英埚变形和塌料时溅硅、跳硅，化完后的液面有杂质漂浮等一些异情况的出现情况，应有效及时的处理并记录；

2、时刻注意加热电流、电压表指针是否正常，以指针摆动归零不报警；

3、工艺需要长时间稳定时要增长氩气流量，为了更有效的带走挥发物；

4、升埚时应避免使液面触到导流筒下沿；

5、升埚位要看液面与导流筒距离和对埚位标尺的确认埚无误后，方可完成，否则会使导流筒粘硅，容易发生跳硅；

6、注意查对和校正工艺参数，特别是拉速和埚跟曲线表；

7、所有记录数据必须做到准确、及时；

8、出现异常立刻处理，并报班长或车间主管；

一、预热接触

    二、引颈

1、温度切入自动后，按晶快降，将籽晶降至从主观察窗能看到的位置；

2、20分钟后，按晶快降按钮将籽晶降至距液面20mm处预热20分钟；

3、降籽晶使之与液面接触，晶转设定为10 r/min，熔接10分钟，根据接触光圈的形状，确定引颈温度是否合适，若合适开始引颈，若不合适，通过欧陆调整温度20分钟后开始引颈，温度不宜偏低；

注意事项及原由

1、降籽晶快速上升或下降每一位置的必须给予确定，升降操作方可完成，否则会熔掉籽晶，甚至重锤，升至上限会导致重锤掉下进入熔硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用；

2、必须预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区，由固态到液态转变时，温差太大造成籽晶受到热冲击，容易产生位错；

1、打开晶升电源，计长清零；

2、给定埚转至5 r/min.；

3、缓慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，让拉速保持在1.5mm/min----6mm/min之间，引颈直接控制在3mm左右，引颈长度不低于150mm.；

4、引晶过程中若温度不适，可进行手到调节温度，但不宜过大；

注意事项及原由

1、打开晶升电源前，确认晶升电位器在归零状态；

2、埚转调整时应缓慢进行，否则会造成液面晃动；

3、引晶开始时，应先引直径10mm左右较粗的晶体，长度为30mm，可作为下次熔接使用，这样避免籽晶的浪费；

4、引晶过程中拉速绝对不可归零，拉速不可过高，这样不利于排除位错；

5、细颈不宜过粗，过细，尽量保持平滑；

6、细颈的长度不可低于150mm。尤其是拉晶过程中出现异常（温度波动较大，细颈质量不高等）时，应适当的加长细颈长度，以便更好的排除位错，利于成晶；

三、放肩

四、放肩坏

   五、转肩

1、引颈达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.5mm/min进行放肩；

2、放肩务必要放平肩，放肩时用温校速率来调节温度；

3、放肩时要时刻观察放肩的形状，放肩过快过慢时，应及时进行适当调整温度；

注意事项及原由

1、引颈结束，降低拉速时必须分步缓慢至0.5mm/min，避免成锥肩或因拉速降低过快使细颈迅速生长而掉棱；

2、放肩拉速0.5mm/min.，目的使晶体在合适的拉速下生长；

1、放肩坏时，将肩放至直径150—160mm提离液面上升到导流筒的中间位置；

2、到达导流筒中间部位后，将晶升设定在4mm/min的拉速上升5min后，关闭晶升电源电位器归零，按晶升快速上升至付室，打开主室充气阀后。流量为20SLP，盖住隔离阀；

3、增大付室氩气流量，到达常压后关闭付室充气阀；

4、打开付室门或升起付室旋转后，取出多晶体放到适当的位置待其冷却后按分类要求放入指定的场所；

5、更换籽晶见《籽晶的更换》作业；

注意事项及原由

1、放肩坏，将多晶体放大后提出，是为了取出熔体里更多的杂质，对坩埚里熔体硅起到提纯的作用；

2、多晶体提出时，严禁直接快速上升至付室，这样温差太大会造成籽晶热应力过大而内裂；

3、快速上升结束后，要确认快速已经停止（可通过晶升电机是否转动来确认）；

4、盖隔离阀前，切记一定要打开主室氩气流量阀并确认提出的肩是否影响隔离阀的操作，以免磕碰卡住隔离阀，造成掉入埚中造成溅硅事故；

5、对隔离阀的操作，一定要小心，以免挤出阀口胶圈致使隔离阀关闭不严，无法起隔离作用；

6、关闭付室充气阀要认真操作，防止误关主室阀或氩气流量计球阀开关，致使主室处于高真空状态，容易行成跳硅事故；

1、将肩放到适当直径时，将拉速缓慢提高；

2、密切关注单晶的生长速度，适当增减拉速；

3、待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速，同时适当给定埚跟随动；

4、转肩结束后，计长清零，实时观察单晶生长情况待其生长稳定后，调整伊尔根，使其压单晶光圈1/3—1/2之间的位置，数字信号大小为450-550左右；

5、调整好拉速和温度，将计算机切入等径控制和温度控制自动状态；

五、转肩

注意事项及原由

1、转肩结束后，单晶直径应离目标不宜过大或过小；

2、转肩时拉速不宜调整太快或太高，否则可能会造成转肩掉棱；

3、给埚跟时注意检查计算机随动比例，电位器给定随动比是否在零位，然后可以打开埚升电源，再进行埚跟随动给定；

4、转肩结束后，务必计长清零；

5、确定计算机测量直径是否合适满足单晶自动生长条件；

6、一定要注意单晶生长稳定后方可切入自动，否则会造成单晶直径波动；

 一、直径控制

    二、等径坏

1、计算机切入自动控制后认真作好各项记录；

2、等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔15分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，每一个小时做一次拉晶记录；

3、根据情况的不同，等径至预定长度应该适当增大埚升随动；

注意事项及原由

1、各项记录必须是记录及时、真实、工整；

2、等颈过程中必须时常观察炉内单晶生产情况，如有异常（如有速度异常、单晶掉棱、变晶、变形直径粗或细、温度不适等）应听从班长或车间主管的安排并及时处理；

3、等径至预定长度若不适当增加埚升随动，会导致单晶直径拉细等径中坏时，根据投料量、拉制单晶直径及所剩余硅液量来确定拉制参数；

1、回熔，在300mm以内掉棱时，进行回熔处理；

1）、将欧陆设置为OP值，晶转设定为5转/分，埚转为1转/分；

2）、功率调整到化料功率的90%；

3）、观察炉内状态，慢慢下降晶体进行回熔；

4）、回熔完成后进行常规作业工序；

  2、 提出或停炉

      1）、在300—650mm范围内坏时，将单晶提出（投料45公斤，拉制6寸单晶）；

      2）、单晶提离液面30mm，给定拉速4.0mm/min上升1小时，而后上升到副室炉筒内，30min后打开主室流量计至适当流量，盖住隔离阀；

      3）、盖住隔离阀后，增大副室氩气流量，到达常压后关闭副室氩气升起门副室炉筒取出坏单晶；

      4）、对炉筒及小副室进行卫生清扫；

      5）、更换籽晶，见《籽晶更换作业》工序，进行二次作业；

      6）、等径中坏的长度在650mm以上时停炉。见《冷却作业》工序；

注意事项及原由

1、 确认坏晶体的长度；

2 、调整功率时要规范欧陆操作，防止温度升的过高或过低；

3 、回熔时晶体降的过快有可能触到石英埚造成漏硅；

4 、回熔时应时常注意炉内情况，防止跳硅或其它异常情况（如单晶掉落、液面结晶）；

5 、提出坏单晶后，应根据长度调整其温度和拉速；

6 、回熔完成或提出单晶进行二次作业前，拉晶条件必须恢复初始值；

7 、如出现异常情况应及时报告班长或主任，并做相应记录；

8 、若等径过程中出现多次掉棱或变晶，应听从班长或车间主管的安排；

一、籽晶的取出

 二、籽晶的腐蚀

 三、籽晶的安装

1、 取出单晶或不成晶体，需要将籽晶取出；

2、 更换下来的籽晶要放在指定是盒子内；

注意事项及原由

1、取籽晶时要慎重作业，不可用手直接接触籽晶，防止烫伤；

2、取出的籽晶要放在指定的盒子内，防止与其他籽晶混淆；

1、沾污的籽晶药要进行腐蚀和清洗；

2、籽晶放在混酸中腐蚀，然后用纯水洗净和烘干；

3、腐蚀后的籽晶用纸包好，放在指定的盒子内；

注意事项及原由

1、腐蚀籽晶要在专用器皿中操作，只腐蚀籽晶的下半部分，防止由于籽晶过细造成拉晶过程中脱落。

2、在拿籽晶时要慎重作业，防止籽晶碰撞造成损坏或内裂；

1、（见合炉籽晶安装工序）；

注意事项及原由

1、（见合炉籽晶安装工序）；

2、重锤温度较高，安装籽晶不可用手或纸巾直接接触重锤，否则会使其重锤沾污，影响成晶；

 一、打开副泵

二、副泵抽空

1、合好副室炉筒或关闭副室小门后打开副泵电源；

2、慢慢打开副室后面的抽气球阀，直至全开；

注意事项及原由

1、必须先打开副泵电源后，再开副泵球阀，防止往炉内倒吸气；

2、必须要缓慢打开球阀；

1、副室压力表抽至-0.05~ -1mpa时打开副室Ar气针阀，同时关闭副泵球阀；

2、副室压力表冲至0 ~ -0.05mpa时关闭副室Ar气针阀，同时打开副泵球阀、

3、步骤3和步骤4反复操作三次；

4、根据压力表的指针确认副室与主室气压到达一致，关闭副室球阀，然后关闭副泵电源；

5、缓慢打开隔离阀；

6、打开副室Ar气针阀至正常流量，关闭主室Ar气针阀；

注意事项及原由

1、反复操作步骤3步骤4可更大限度的提高副室真空度，此时一定要注意不可关闭主室Ar针阀或流量计球阀，否则会造成炉内倒吸气；

2、关闭副泵电源时，一定要确认副泵球阀处于完全关闭状态，防止漏气造成事故；

3、打开隔离阀时要缓慢操作，防止损坏或挤出阀口密封圈；

4、在整个副泵抽空过程中，绝对禁止关闭Ar气流量计球阀，否则会造成炉内返气，严重影响成晶；

1、当晶体长达到达预定长度或埚内剩料少时，等径和温度自控手动退出，慢慢的降埚跟停止埚升进行收尾；

2、要经常检看收尾情况，对拉速和温度做适当调整；

3、收尾长度应为晶体直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入晶体冷却工序；

注意事项及原由

1、收尾前一定要确认单晶的实际长度，防止埚内剩料过多或过少；

2、停止埚升随动时一定要缓慢操作，过快会导致收尾掉棱；

3、收尾过程中，对拉速和温度调整时，一定要适当、适中，温度或拉速波动过大，会导致收尾掉棱；

4、杜绝收断尾；

5、单晶脱离液面时，按埚降快速，使之脱离；

6、异常情况及时向班长或车间主管报告，并作好相应记录；

1、收尾完成后，按下埚快降键，下降20mm后确认埚快降停止，不成晶时下降30mm.；

2、晶升拉速调整到1.0mm/min，使单晶自动上升；

3、温度处理作业，根据单晶状态的不同，作业有所不同；

A 、不合格品：晶体液面分离后，立即将功率归0，关闭加热电源；

B、 合格品：电压降至20V，半小时后功率归0，关闭加热电源；

4、调整计算机各参数，使之恢复初始状态；

5、Ar气流量为20SLP，冷却三 个半小时，转入下道工序；

注意事项及原由

 1、应按埚快降使单晶与液面脱离，脱离后必须确认，埚快降停止方可完成；

 2、成晶情况的不同，单晶与液面脱离的距离不同，有利于缩短运行周期；

3、自动上升时，晶升拉速一定要调整到1.0mm/min，过快会导致位错的产生，甚至单晶内裂；

 4、温度处理一定要按照合格品与不合格品的不同情况进行作业；

一、热场清理和石墨毡包扎、安装、调整

1.1目的：

石墨件在加工过程中带有大量石墨粉末必须彻底清理干净，石墨保温罩外面需加适当层数和厚度的石墨毡、柔性石墨纸起保温作用，达到单晶拉制生长的合适温度梯度。

本指导书适用于18英寸热场的石墨毡包扎。

使用材料及要求：

1）石墨热场(外加工、进口细和国产中粗石墨)

2）聚丙烯晴基石墨毡(国产) δ=10mm

3）柔性石墨纸(碳箔)(国产)

4）细钼丝

2使用工具及辅助材料：

钢锯、老虎钳、剪刀、卷尺、排刷、真空吸尘、专用扳手、口罩、医用纱布、无水酒精、薄膜手套、美工刀、钢板尺、砂纸、石墨件图纸；

3操作步骤：

1）包石墨毡层数、厚度、高度要合适,加夹石墨纸层数要适当，上保温6-7层,中保温7-8层,或中间加夹3-4层石墨纸,下保温6-7层,外面各加细钼丝紧固,包扎要紧不能有松动；

2）石墨毡宽度剪裁准确，合理使用材料，包扎好后，保温罩两端面修整要齐平；

石墨上保温罩高153mm，石墨毡宽≥153mm；

石墨保温罩高600mm左右，石墨毡宽度≥600mm；

石墨下保温罩200mm左右, ,石墨毡宽≥200mm；

3）工作准备：穿好工作服,戴好工作帽、口罩、手套，准备好使用材料和工具，按料单领出石墨件、石墨毡、石墨纸、细钼丝，领出成套石墨散件；

4）热场清理：石墨件表面先用真空吸尘器清扫吸除石墨粉，再用无尘纸沾乙醇揩擦石墨件，达到无石墨灰为止；

5）石墨毡包扎：石墨毡、石墨纸保温层按石墨保温罩高度裁好，宽度，包石墨毡，炉底石墨毡1-2层10mm厚石墨毡，按大保温盖外圆割好，量好坩埚下轴中心孔位置和2个电极中心孔位置，孔径按石墨护套直径套圆。下保

一、热场清理和石墨毡包扎、安装、调整

温罩测量2个对称排气孔高度位置，并开好孔，中间保温罩测量好热电偶取光孔高度位置，并打好孔要求孔要正准。

6）石墨加热器开槽加工：加热器在安装使用前，先开好槽，开槽前把要锯槽的位置划线好，划线后确认无误，把加热器倒置，先锯加热器下部槽口，加热器脚两边两槽到最后才锯，用砂纸倒角，下部槽锯开并倒角后，把加热器倒正过来，按划线一一锯开加热器上部槽，再锯加热器脚两边的槽，用砂纸倒角砂好每个槽口锯痕。用真空吸尘器清扫干净加热器上的石墨粉，用沾有无水乙醇纱布或长纤维纸揩擦加热器上的石墨灰。

4 注意事项：

1）领用的石墨件和石墨毡经检验合格，清点清楚,不能缺件,搬运时要轻拿轻放,不能碰撞,特别是石墨加热器,价值很高；

2）注意只是石墨毡打孔,不要把石墨保温层打通开槽绝对不能开错位置,一旦开错这只加热器就报废了必须两人配合好，拿稳放平，非常小心，在没有经过高温煅烧的加热器强度很差，容易损坏；

3）注意轻拿轻放，拿稳、放稳，清理要干净。包扎石墨毡选材要合理、层数厚度要合适、操作要认真、细致、开孔要准确，不能有错。加热器开槽划线不能有错，加热器翻身时要特别小心，锯槽要准确无误；

4） 搞好现场工艺卫生、清扫石墨件、包扎石墨毡、加热器开槽不能在不干净的地方进行，有必要用干净塑料布垫在地面上作业；

5）操作完毕后，把热场部件全部放到搬运车上,送到单晶炉旁装炉，并检查清点石墨件数、包扎情况、开孔、开槽是否准确；

一、热场煅烧

1目的：

清理热场的杂质，规范煅烧的步骤。

2范围：

适用于操作工对16″、18″热场煅烧。

3煅烧步骤：

3.1在炉膛真空达到要求后，(3帕以下) 充氩气，炉压控制在1300帕左右，石墨件煅烧时，从升低温到中温、高温要求严格控制慢升温；

3.2按加热启动按扭，升功率30-50KW(低温功率)，通常15分钟后石墨加热器就发亮，检查炉膛是否有热点，是否有火花以及漏电；

注：煅烧时如果电流表和电压表同时摆动就要降低氩气流量直到现象消除；

3.3一旦石墨发亮，再调温度控制器，升功率50-80KW，继续观察电流表和电压表，观察是否有同时摆动现象，如果有，就降功率。控制炉压1300帕，低温烘烤半小时。

3.4炉子在低温稳定后，手动升功率到中温，恒温1-2小时(旧石墨1小时，新石墨2小时)。中温稳定烧足时间后，继续升高温80-105KW，严格要求中温到高温阶段升温速度不能太快，加功率幅度不能大，分多次慢速升至高温功率。恒温1-2小时。（旧石墨1小时，新石墨2小时）

3.5停加热，关氩气，抽真空，观察真空度上升情况，直到接近8帕或更低；

3.6降中温充氩气烧（旧石墨半小时，新石墨1小时）后，降功率，关闭加热电源，温度控制器输出为0，开炉前进行漏气速率检查，检查时让上、下轴都转动；

3.7新石墨系统煅烧时，升温速度要缓慢，升温速度取决于石墨的纯度，升温时特别要注意表的摆动现象，欧陆控制器置手动，关闭氩气、晶升、晶转、埚转等，抽空30分钟后停炉。如两表同时摆动则马上降温，30分钟后再逐渐升温，同时观察是否有同时摆动现象，如有就降低功率，直到现象消失为止；

一、热场煅烧

3.9煅烧时操作人员一定要坚守岗位，不得擅自外出，不得叫别人代看，违者将从严处罚。

新单晶炉连续锻烧三次，清扫必须做到绝对干净，特别是上炉膛、小副室、提拉室、软轴钢丝绳、重锤、籽晶夹头等。

4煅烧注意事项：

1）旧的热场，炉子真空要抽到6帕，全新的热场，炉子真空要抽到12帕左右，漏气速率1帕/3min

2）打开冷却水，并检查水路是否畅通

3）坩埚转速设为1转/分。

4）旧导流筒煅烧时，用一层石墨毡放在三瓣锅上，以免导流筒上的残硅掉下损坏热场