真空电弧熔炼炉操作规程

●万用表检查腔底和腔壁、腔壁和电弧是否短路★★★★★。检查电路线连接是否正常。

●检查高压气瓶（氩气）减压阀的气体流量调节阀是否完好，不得大于两个大气压★。打开氩气瓶开关时，应确保气体流量调节阀关闭，否则会导致损坏。

●开墙上电源控制箱大、小电闸。开右侧电源控制柜“总控电源”，打开控制柜后面的插线板水泵和空压机电源（红点亮）。

●检查水路是否正常工作（水箱是否漏水、水泵、排水管线等）。

【放样】

1.打开放气阀，放气声消失后，真空室上方压力表示数为0，关闭放气阀★★。

2.打开油泵，操纵真空室上升按钮（升降按钮需持续按压，松开即停止升降），使真空室上升，用手轻扶筒身，防止上升过程中筒身偏转。

真空室升降过程中注意检查真空室后部连接的各种管线（高压线、气路、电路线等）是否被拉紧，有问题时及时调整★★★★★。

3.当筒身下缘高于样品台时，旋转筒身使坩埚露出，开始放样。利用坩埚旋转按钮可以改变坩埚位置。

旋转样品台时注意检查样品台下面水管和电线是否缠绕过紧，有问题时及时调整★★★★★。

4.放样结束，真空室下降回位。回位过程中手轻扶筒身，缓慢下降。

【抽真空】

1.确保预抽阀、截止阀、主抽阀处于关闭状态。检查相关电源控制开关是否都处于初始关闭的位置。

2.开机械泵、预抽阀，真空室开始抽低真空。

3.观察真空室压力表的读数，达到-0.1pa时，开启复合真空计。当真空室内真空达到1 Pa以下时（复合真空计左侧显示屏），关闭预抽阀。打开截止阀，打开主抽阀，至室内真空达到5 Pa以下时，开分子泵“运行”，抽高真空。复合真空计不用时，关闭之★。

4.观察真空计的压力示数（复合真空计右侧显示屏），至2 × 10-3Pa时，关闭复合真空计。关主抽阀，关分子泵“停”。分子泵停止需要一段时间，此时千万不能关闭截止阀★★★★★。打开充气阀，真空室压力表至-0.05pa时，关闭充气阀。分子泵转速降为零时，关截止阀，关机械泵，关闭分子泵电源。

注意事项：

1.若电弧炉长时间未用或换氩气瓶后还未使用，则在机械泵抽真空后，开放气阀放入氩气进行洗气。

2.打开分子泵之前，一定要确保水路畅通★★★★★。

3.抽好高真空，关闭主抽阀后，一定要先关分子泵，待分子泵完全停机后，再关截止阀。

4.充气之前要保证主抽阀和预抽阀处于关闭状态，以免分子泵暴露在大气下损坏★★★★★。

【熔炼】

1.打开左侧控制柜电源。依次打开“远控”、“运行”。

2.利用远控端面板上的旋转按钮，旋转样品台，将待熔炼样品坩埚调至电弧正下方。调整电弧高度，样品最高点与尖距离为3～5mm，以便引弧。调整电弧高度时，先把电弧尖对准样品低凹处进行调整，达到合适高度后再将尖移动到样品最高点，防止尖触碰样品折断★★★★★。

3.关闭视窗，关闭照明，检查远控端电流旋钮回零位。按“启动”，再按“引弧”。当电弧产生后，将尖上升至距离样品15～30mm处，使熔炼电弧尽可能成为一条直线。根据实际情况调整电流，操纵手杆使尖画弧开始熔炼，注意尖不能在一点停留过久，且摆动时，尖不可超出坩埚。熔炼时电流不易过大，一般不超过500mA。

4.如需使用“电磁搅拌”，则需要在熔炼前打开控制柜上的“电磁搅拌”，并且调整好电流旋钮，一般在5-8A左右，最大不可超过10A。

5.试样熔炼完毕之后，先将电流回零，然后升，按“启动”关闭远控电源。旋转坩埚，熔炼下一个样品。

注意事项：

1.刚熔炼完时，腔内温度过高，切勿立刻打开照明灯★★★。

2.在引弧期间，人体不要接触电弧，以避免触电可能★★★★★。

3.利用机械手翻转时，机械手容易碰到电弧，所以应保持熔炼电流和“启动”关闭。

4.本电弧炉的起弧为电弧与样品直接起弧，电弧不可接触腔内任何物品，并禁止在熔炼时直接在腔底铜台上移弧。

5.翻样以及熔炼下一个样品之间需有几分钟间隔，防止进气。

6.每个样品不需过多熔炼，否则可能会导致样品中的含氧量过高。

【取样及关机】

1.所有样品熔炼完毕后，关闭左侧熔炼炉电源柜“运行”，关闭“电源”。

2.等腔体冷却后（约15分钟），打开放气阀对真空室放气后，关闭放气阀★★。

3.升高真空罩，取出样品。

4.用吸尘器吸去杂物，用干净的脱脂棉蘸酒精清洗真空室内部及坩埚表面，完全干燥后，再降下样品室真空罩。

5.打开机械泵和预抽阀，将真空抽至5Pa。

6.关闭真空计、预抽阀、机械泵。关闭油泵和右侧控制柜电源。

7.关闭电源控制箱大电闸和小电闸。

放气阀