单晶硅项目环评报告书



银笛（扬州）微电子有限公司

年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目

环境影响报告书

（简本）

银笛（扬州）微电子有限公司

2006年9月

1总论

1.1任务由来

新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司，经过多年的攻关，攻克了功率场控器件用高阻厚外延和亚微米、深亚微米CMOS器件薄层外延制造技术，该成果得到了国家相关部委及高科技产品认定中心的认定。新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司已在上海金桥出口加工区投资建设了外延片的生产基地，由于现目前国内半导体材料市场严重供不应求，为了满足国内外半导体市场的需求，决定在江苏省仪征经济开发区投资设立银笛（扬州）微电子有限公司，年产300万硅抛光片、60万硅外延片，主要生产4~12英寸的硅抛光片以及6~8英寸的硅外延片。本项目的建设有利于加速集成电路芯片主要材料的国产化进程。

按照《中华人民共和国环境保》、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理条例》的有关规定，应当在工程项目可行性研究阶段对该项目进行环境影响评价。为此，银笛（扬州）微电子有限公司于2006年8月委托苏州工业园区新东方环境保护科学研究所承担该项目环境影响报告书的编制工作。

我单位接受委托后，即认真研究该项目的有关资料，并踏勘现场的社会、自然环境状况，调查、收集有关工程现有状况及拟建项目资料，通过对项目所在区域的环境特征和本项目的工程特征进行深入分析，编写了环境影响报告书。通过环境影响评价，了解建设项目周围的环境状况，预测建成后对周围水气声环境的影响程度和范围，并提出防治污染措施，减缓建设项目对周围环境的影响，为建成后的环境管理提供科学依据。

2主要环境保护目标

表2-1环境保护目标

环境要素	环境保护对象	方位	距离（m）	规模	环境功能
大气环境	蒲新村（待拆迁）	南	100	100户	二类区
水环境	长江	南	2000	—	Ⅲ类水体
	仪征与仪化 水源取水口	东	12000	50万吨/天
	扬州水厂取水口	西	8000
声环境	厂界	周围		厂界	3类区

3本项目概况

(a)本项目名称、建设地点、建设性质、投资总额、环保投资

项目名称：银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目

建设地点：江苏省仪征经济开发区新区

建设性质：外商投资新建

投资总额：新建项目投资总额8000万美元，其中环保投资576万元

(b)本项目建设内容

银笛（扬州）微电子有限公司向仪征市高新技术开发区提出生产、办公用房及生产设施的建设要求，仪征市经济开发区按要求建造厂房及相应的设施，然后租赁给银笛(扬州)微电子有限公司使用。租用厂房面积约48680㎡，包括外延片生产厂房、抛光片生产厂房、综合动力站、化学品库、办公楼、门卫等。设施主要包括供水系统、循环冷却水系统、纯水系统、变配电系统、应急电源、通信信息及生命安全系统、空调净化系统、压缩空气系统、制冷及供热系统、环保设施（废水处理站、废气处理设施）、消防设施、劳动保护安全设施以及室外工程等。

项目主体工程与设计能力情况见表3-1，公用及辅助工程的组成见表3-2。

表3-1 项目主体工程与设计能力

序号	工程名称 （车间或生产线）	产品名称 及规格	设计能力/年	运行时数
1	单晶硅抛光片	4英寸	40万片	8520h
		6英寸	150万片
		8英寸	80万片
		12英寸	30万片
		合计	300万片
2	硅外延片	6英寸	30万片
		8英寸	30万片
		合计	60万片

表3-2 公用及辅助工程

类别	建设名称	设计能力	备注
贮运工程	甲类化学品仓库	面积200m2	采用防腐蚀环氧树脂地面，主要存放硫酸、、双氧水、盐酸、氢氟酸、氨酸和氢氧化钠溶液等
	仓库	面积4000 m2	主要存放原料单晶硅棒、硅衬底材料和成品
	废弃物仓库	面积100 m2	存放各类酸碱废液和固体废弃物
	气体供应站	面积4000 m2	由专业公司建站制造，提供氢气、氮气等
	特气存储		特种气体存放于进口的特气钢瓶柜，HCl、SiHCl3钢瓶柜各2个，PH3、B2H6各一个
公用工程	给水	102.1万t/a	仪征经济开发区给水管网提供
	排水	65.93万t/a	生产废水经厂内自建废水处理站处理达到接管标准后和生活污水进入真州污水处理厂处理
	供电	5452.8万度	由开发区的110KV变电所提供
	纯水制备	110t/h	纯水制备系统供纯水，用于满足生产中的使用纯水
	循环冷却系统	400t/h	公司设有一套由水泵、冷却水塔、循环水箱等组成的冷却循环系统。
	供汽	为了满足生产中对热源的需要和冬天采暖，本项目年消耗蒸汽量为的10万吨，有开发区的供气管网提供。
	空调系统	为改善劳动环境，满足生产需要，设置一套空调系统，由冷却塔、加压泵和冷冻机组成。
	绿化	为美化环境、净化空气、降低噪声，厂内在空闲地带、道路两侧进行种草植树，绿化面积51979 m2，绿化达到38.8%
环保工程	废气处理	对工程中产生的各种废气采用技术可行、经济合理的治理措施，即酸性废气进入采用碱液进行淋洗；碱性废气采用酸液进行淋洗；甲苯采用活性炭吸附；特性废气采用专门的湿式外延气体清洗器处理，各种废气均达标排放
	废水处理	公司建设一套废水处理设施，针对不同水质，采用不同方式，对生产废水进行有效处理，达到接管标准后和生活污水进入真州污水处理厂处理，经处理达标后，统一排入长江仪征段
	噪声处理	采用低噪声设备、隔声减震、绿化吸声等措施
	固废处理	按照规定对产生的固体废物进行处置

(c)占地面积、厂区布置

占地面积：本项目总占地面积133334m2，所占土地为仪征经济开发区新区高新技术产业用地。

厂区布置：厂区包括生产用房、办公楼、辅助生活设施、甲类化学品仓库、仓库、成品仓库、气体供应站、综合动力站及发展预留用地等

(d)职工人数、工作制度

职工人数：公司职工总人数220人，其中技术人员160人。

工作制度：预计年工作日355天，每天工作24小时，年工作时数为8520小时。

3.2生产工艺流程及原辅料能源消耗

(a)生产工艺流程

一、单晶硅抛光片制作

固定

切片

快速退火

倒角

分档检测

研磨

磨片检测

腐蚀A/B

分档检测

粗抛光

RCA清洗

检测

纯水洗

检测

包装

出货

单晶硅棒

水

S1 W1

S2 W2

S3

纯水洗

氮气氧气

磨片剂

S4

水

W3

水

纯水洗

A：混酸

B：碱液

氮气

A：G7、8 S11

B：S12

水

A：W11

B：W12

纯水洗

水

W13

纯水洗

精抛光

研磨剂

S13

精磨剂

S14

水

W14

RCA清洗

W4~10

S6~10

G2~6

图3-1 单晶硅抛光片工艺流程及产污节点图

溶剂

G1 S5

清洗

W15~21

S15~19

G9~13

水

W22

生产工艺流程具体介绍如下：

固定：将单晶硅棒固定在加工台上。

切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。

退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层。

倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形，防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。

分档检测：为保证硅片的规格和质量，对其进行检测。此处会产生废品。

研磨：用磨片剂除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。此过程产生废磨片剂。

清洗：通过有机溶剂的溶解作用，结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质。此工序产生有机废气和废有机溶剂。

RCA清洗：通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物质和金属离子。具体工艺流程如下：

SPM清洗

纯水洗

DHF清洗

纯水洗

APM清洗

HPM清洗

纯水洗

DHF清洗

纯水洗

图3-2  RCA清洗工艺流程及产污节点图

硫酸、双氧水

氢氟酸

氨水、双氧水

盐酸、双氧水

氟化氢

G S

W4

G S

W5

G S

W6

W7

W8

W9

W10

G S

G S

纯水洗

热水洗

纯水洗

水

水

水

水

水

水

水

SPM清洗：用H2SO4溶液和H2O2溶液按比例配成SPM溶液，SPM溶液具有很强的氧化能力，可将金属氧化后溶于清洗液，并将有机污染物氧化成CO2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的有机污物和部分金属。此工序会产生硫酸雾和废硫酸。

DHF清洗：用一定浓度的氢氟酸去除硅片表面的自然氧化膜，而附着在自然氧化膜上的金属也被溶解到清洗液中，同时DHF抑制了氧化膜的形成。此过程产生氟化氢和废氢氟酸。

APM清洗： APM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液组成，硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜（约6nm呈亲水性），该氧化膜又被NH4OH腐蚀，腐蚀后立即又发生氧化，氧化和腐蚀反复进行，因此附着在硅片表面的颗粒和金属也随腐蚀层而落入清洗液内。此处产生氨气和废氨水。

HPM清洗：由HCl溶液和H2O2溶液按一定比例组成的HPM，用于去除硅表面的钠、铁、镁和锌等金属污染物。此工序产生氯化氢和废盐酸。

DHF清洗：去除上一道工序在硅表面产生的氧化膜。

磨片检测：检测经过研磨、RCA清洗后的硅片的质量，不符合要求的则从新进行研磨和RCA清洗。

腐蚀A/B：经切片及研磨等机械加工后，晶片表面受加工应力而形成的损伤层，通常采用化学腐蚀去除。腐蚀A是酸性腐蚀，用混酸溶液去除损伤层，产生氟化氢、NOX和废混酸；腐蚀B是碱性腐蚀，用氢氧化钠溶液去除损伤层，产生废碱液。本项目一部分硅片采用腐蚀A，一部分采用腐蚀B。

分档监测：对硅片进行损伤检测，存在损伤的硅片重新进行腐蚀。

粗抛光：使用一次研磨剂去除损伤层，一般去除量在10~20um。此处产生粗抛废液。

精抛光：使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度，一般去除量1 um以下，从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。

检测：检查硅片是否符合要求，如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。

检测：查看硅片表面是否清洁，表面如不清洁则从新刷洗，直至清洁。

包装：将单晶硅抛光片进行包装。

二、硅外延片制作

纯水洗

硅衬底材料

检测

外延生长

测试检验

真空包装

外延炉石

英管清洗

HCl+N2、H2、

SiHCl3、PH3、B2H6、N2、石英、石墨

G14 S20、S21

混酸

G17~18 S23

水洗

纯水

W26

图3-3 硅外延生产工艺流程及产污节点图

图3-4 外延炉石英管清洗工序及产污节点图

S24

水

SPM清洗

纯水洗

碱清洗

纯水洗

硫酸、双氧水

水

水

氨水

G15 S22

W23

W24

G16 S23

W25

生产工艺流程具体介绍如下：

纯水洗：简单清洗，去除硅衬底材料表面的表面杂质。

外延生长：外延炉经氯化氢和氮气吹扫清洗后，通入SiHCl3和H2，为了满足硅片的电学性能，还要掺入50ppm的特种气体PH3或B2H6，红外加热至1100~1200℃下，通过化学气相沉积法在硅衬底材料上生长一层与衬底材料具有相同晶格排列的单晶硅，形成单晶硅外延片。有99% 的SiHCl3、PH3、B2H6参加反应。此工序产生的废气主要是氯化氢，还有一些没有反应的PH3、B2H6和SiHCl3；外延炉的石墨基座和石英夹套需要定期更换，产生废石英和废石墨。具体反应如下：

SPM清洗：去除硅片表面的杂质。此处产生硫酸雾和废硫酸。

碱洗：去除上一道工序在硅片表面形成的氧化膜。

测试检验：测量外延层厚度和电特性参数、片内厚度和电特性均匀度、片与片间的重复性及杂质颗粒等是否符合相应的指标。此处会产生一些废品。

真空包装：通过工艺真空系统对产品进行真空包装。

外延炉石英管清洗：在外延生长中会在外延炉的石英管上沉积一些杂质。

(b)主要原辅料及能源消耗主要原辅料、能源消耗见表3-3。

表3-3 主要原辅料及能源消耗

类别	名称	重要组份、 规格、指标	年耗量	存贮量	来源及运输
单晶硅抛光片和硅外延片	单晶硅棒	99.99%Si	2000t	167t	主要原辅料进口，部分于国内购买。运输主要以陆地运输为主。
	研磨剂	SiO230%， 有机碱 水	60t	6t
	精磨剂	SiO210%，(C6H10O5)n，1% 无机碱水%	40t	4t
	精磨剂	SiO210%	10.2t	1t
	磨片剂	Al2O3≧45% ZrO2≦33% SiO2≦20% Fe2O3≦0.5% TiO2≦2%	101t	9t
	溶剂	(CH3)2CHOH    56% C6H5CH3    24% 固形分    20%	4t	0.4t
	混酸	HF    7.2% HNO3    41.2% CH3COOH    18.1%	280t	1t
	氢氟酸	HF    49%	80t	1t
单晶硅抛光片和硅外延片	盐酸	HCl    35%	12t	1t
	H2O2	H2O2    31%	290t	25t
	HNO3	63%	54L	5L
	H2SO4	98%	3750L	312L
	NaOH	NaOH    48%	68 t	6t
	NaOH	NaOH    3%	25 t	2.1t
	氨水	NH4OH  28%	180 t	3t
	硅衬底材料	单晶硅99.999%	万片	6万片
	SiHCl3		12t	0.055t
	HCl		7.5t	0.055t
	石英（配件）	SiO2	0.1t	0.01t
	石墨（配件）	C	0.5t	0.05t
	PH3		0.0002t	0.0002t
	B2H6		0.0002t	0.0002t
	H2	99.99999%以上	36万m3
	N2	99.9995%以上、99.99999%	90万m3
	工艺真空		85.8万m3
	压缩空气		87万m3
	活性炭		1.5t

新鲜水	自来水	H2O	1022045t	——	水网
电	电		5452.8万度	——	电网
燃料	燃气	天然气	85.2万m3	——	气网

3.3主要生产、公用及贮运设备

项目主要的生产、公用、贮运设备见表3-5。

表3-5 主要设备清单

类型	设备名称	规格型号	数量（台、套）	产地
生产	抛光机	SILTEC	99	美国
	双面抛光机	SPEEDFAM	10	美国
	抛光机	STRASBAUGH	10	美国
	内圆切片机	QP－613ID SAWER	10	美国
	磨片机	OKAMOTO	12	日本
	双工位热氧化炉	Oxidation Furnace	3	美国
	全自动硅片清洗机	DNS	4	美国
生产	清洗机	Verteq Cobra	2	美国
	清洗机	AKRION	2	美国
	外延炉	ASM-EPSilon2000	6	美国
	外延炉	Epipro5000	6	美国
	尾气处理器	DAS Epitaxy Scrubber	2	德国
	外延膜测厚仪	ECO/RS	2	美国
	电阻测试仪	RESMAP178	2	美国
	表面颗粒度检测仪	WITS-CR82	2	美国
	干涉显微镜	MX50	2	日本
	烘箱	T6760	2	德国
	硅片清洗系统	Bold Clean Bench	2	美国
	硅片甩干机	SRD-870/880	2	美国
	特种气体柜	Uni-tech	6	美国
	电阻率测试仪	SSM490	2	美国

公用	燃气热水锅炉	2.8MW	2	进口
	纯水设备	160t/h	1	进口
	循环冷却水系统	4000kW	1	国产

3.4公用工程

(a)供电

项目用电由开发区110KV的变电所提供，日用电量约153600kwh。

(b)供水

项目供水由开发区的给水管网提供，开发区内建有日供水能力20万吨的自来水厂二座。

(c)供热

为了满足生产工艺中对热源的需要以及解决冬天的采暖问题，本项目采用蒸汽供热，年消耗的蒸汽10万吨有开发区的供热管网提供。

(d)纯水制备

项目设有一套超纯水制备设施，其制备能力为110t/h，根据生产需要每天制备纯水2099.8t/d，产生的浓水和反冲洗水2t/d作为清下水排放，其超纯水制备工艺流程如下：

自来水

加絮凝剂

原水箱

原水泵

机械过滤器

活性炭吸附器

热交换器

5μ保安过滤

Ⅰ级高压泵器

Ⅰ级RO装置器

Ⅱ级高压泵器

Ⅱ级RO装置器

真空脱气装置

中间水箱

中间水泵

EDI装置

氮封纯水箱

纯水泵

抛光树脂床

TOC杀菌器器

超过滤器器

生产工艺用水

水箱

水泵

循环冷却系统器

冷却器

图3-5 超纯水制备工艺流程图

清洗装置

清洗装置

pH调节

加阻垢剂

(e)排水

项目采用雨污分流、清污分流的排水。废水包括生产废水1808.3t/d、生活污水49t/d和清洁排水8t/d。生产废水经过有效预处理达到接管标准后与生活污水通过开发区管网排入真州污水处理厂集中处理，达标后排入长江仪征段。清洁排水通过雨水管网排入附近河流。

(f)氢气、氮气的供应

生产工艺中需要的氢气、氮气由大宗气体供应商在本厂区建造配套气站，供应氢气和氮气。氢气制备原理：通过水电解便可得到普通氢气，经过催化除氧，吸附干燥和过滤除尘后获得高纯氢气；氮气制备原理：变压吸附制氮采用碳分子筛为吸附剂。一定的压力下，碳分子筛对空气中的氧的吸附远大于氮，因此通过可编程序控制气动阀的启闭，A、B两塔可以交替循环，加压吸附、减压脱附，完成氧氮分离，得到所需纯度的氮气。

3.5污染源强及污染物排放量分析

（1）大气污染物产生及排放情况

项目在生产过程中排放的大气污染物主要包括生产工艺废气：甲苯、异丙醇、HF、HCl、H2SO4、NOx、NH3、SiHCl3、PH3、B2H6。

 有组织排放废气

项目在生产过程中产生的有组织排放废气的种类与产生环节见表3-6。

表3-6 项目有组织排放废气的种类与产生环节

排气筒	废气类别	废气编号	污染物名称	产生环节
1#	有机废气	G1	甲苯、异丙醇	清洗
2#	酸性废气	G2、G9、G15	H2SO4	RCA清洗
		G3、G6、G7、G10、G13、G17	HF	RCA清洗、腐蚀A、外延炉石英管清洗
		G5、G12	HCl	RCA清洗
		G8、G18	NOx	腐蚀A、外延炉石英管清洗
3#	碱性废气	G4、G11、G16	NH3	RCA清洗、碱清洗
4#	特种废气	G14	HCl、SiHCl3、 FH3、B2H6	外延生长

银笛（扬州）微电子有限公司对生产中的工艺废气采取的治理措施为：甲苯废气采用活性碳吸附，去除效率达到80%；酸性废气用碱液进行喷淋吸收，去除率为≥90%；对碱性废气采用酸液进行喷淋吸收，去除效率为95%以上；对特种废气HCl、SiHCl3、PH3、B2H6 废气采用湿式外延气体清洗器去除，SiHCl3、HCl、B2H6的去除效率≥99%。

拟建工程大气污染物三本帐情况见表3-7。

表3-7 拟建项目大气污染物三本帐 单位t/a

污染物	产生量	削减量	排放量
甲苯	0.102	0.082	0.020
异丙醇	0.239	0.191	0.048
HF	6.134	5.521	0.613
HCl	17.732	17.506	0.226
H2SO4	0.818	0.736	0.082
NOx	11.587	10.428	1.159
NH3	4.984	4.735	0.249
SiHCl3	0.120	0.119	0.001
PH3	2×10-6	2×10-8	1.98×10-6
B2H6	2×10-6	1.98×10-6	2×10-8

 无组织排放废气

拟建项目所用的氢氟酸采用0.5L的PVC瓶存储；盐酸、、硫酸、氢氧化钠溶液采用0.5L或3L的玻璃品包装存储；氨水采用3L或4L的PVC瓶存储；硅外延片制作需要的特种废气HCl 、SiHCl3、PH3和B2H6用钢瓶柜存储，钢瓶柜自带减压装置、阀门盘。项目的生产车间设计为密闭的车间，废气收集效率较高，达到99%。实际物料装运、使用、贮存和废气收集过程中废气污染物的无组织排放情况见表3-8。

表3-8 无组织排放废气产生源强

序号	污染物名称	污染源位置	污染物产生量t/a	面源面积m2	面源高度m
1	HF	各清洗区 化学品仓库	0.09	60	1~9
2	HCl		0.008	80	1~9
3	NOx		0.17	120	1~9
4	H2SO4		0.012	80	1~9
5	NH3		0.39	60	1~9

（2）水污染物产生及排放情况

项目各类废水的来源、类别及排放量详见3-9。

表3-9 废水种类及水量情况

序号	类别	编号	水量t/d
1	切片倒角废水	W1、W2	6
2	研磨废水	W3	107
3	抛光废水	W13、W14	214
4	酸性废水	W4、W9、W 11、W 15、W 20、W 24	438.5
5	碱性废水	W12	53.5
6	含氟废水	W5、W 10、W 16、W 21、W 26	296.3
7	含氨废水	W6~ W 8、W 17~ W 19、W 25	551
8	一般废水	W22、W23	112
9	废气洗涤水	W27	30
10	生活污水	W31	49
11	清下水	W28、W 29、W30	8

依据仪征经济开发区环境影响评价与环境保护规划，拟建项目所排生产废水应在厂内处理达到污水处理厂的接管后与生活污水通过开发区的管网排入真州污水处理厂进行深度处理，处理达标后统一排入长江仪征段。

建设项目水污染物的三本帐见表3-10。

表3-10 拟建项目水污物三本帐一览表 单位t/a

种类	污染物名称	产生量	厂内削减量	厂内排放量	进入环境的量
废水	COD	92.354	8.362	83.992	39.560
	SS	130.198	60.785	69.413	13.187
	氟化物	21.023	14.604	6.419	6.419
	NH3-N	12.246	0.811	11.435	9.0
	TP	0.069	0.000	0.069	0.009
清洁排水	COD	11.502	0	11.502	11.502

（3）噪声污染产生及排放情况

本项目噪声主要来源于各类机械设备，如冷冻机、废气塔、空压机、锅炉风机、真空泵等。主要设备噪声源产生情况3-11。

表3-11 拟建项目噪声产生及排放情况

序号	设备名称	等效声级dB（A）	所在车间工段	离最近厂界距离m	治理措施	降噪效果
1	冷冻机	75~85	综合动力站	49	选用技术新、低噪声设备；采用隔声、减震、降噪等措施；厂区内绿化	厂界噪声达到《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)中的3类标准的要求
2	冷却塔	70~75	抛光片、外延片车间	70
3	废气塔	85~90	抛光片、外延片车间	68
4	空调机组	70~75	抛光片、外延片车间	61
5	水泵	70~75	综合动力站	90
6	空压机	80~85	综合动力站	49
7	锅炉风机	80~85	综合动力站	90
8	真空泵	80~85	综合动力站	49

对噪声采取的主要防治措施为：选用技术先进低噪声的设备、对设备进行隔声减震、消声吸声等措施，使厂界噪声达到《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)中的3类标准的要求。

（4）固体废物产生及排放情况

建设项目产生的固体废物种类主要包括硅片表面处理产生的废有机溶剂、废活性炭、表面处理废物（包括废硫酸、废氢氟酸、废盐酸、废混酸和废碱）、污水处理产生的含氟污泥、废氨水、废研磨剂、废抛光剂、单晶硅渣、废石墨、废石英以及生活垃圾等，具体产生与排放处置情况见表3-17。工程中采取的固体废物处理措施为：废有机溶剂、废活性炭、废硫酸、废氢氟酸、废盐酸、废混酸、废碱和含氟污泥，属于国家规定的危险废物，委托具有相应处理资质的单位进行处置；废氨水、废研磨剂、废抛光剂、单晶硅渣、废石墨、废石英等可由有关单位回收利用；生活垃圾等按照环卫部门的有关要求进行处置。

表3-17 项目固体废物产生及排放情况

序号	名称	分类编号	产生量（t/a）	形状	处置方式
1	废有机溶剂S5	HW42	3.8	液	委托有资质的单位处理
2	废硫酸S6、S15、S20	HW17	30	液
3	废氢氟酸S7、S10、S16、S19、S21、S24	HW17	96	液
4	废盐酸S9、S18、S21	HW17	20	液
5	废混酸S11、S26	HW17	300	液
6	废碱液S12	HW17	111	液
7	废活性炭	HW06	2	固
8	含氟污泥	HW32	620	固
9	废氨水S8、S17、S20		188	固	由相应的单位回收利用或处置
10	废研磨剂		141	液
11	废抛光剂		170	液
12	单晶硅渣		71	固
13	废石墨		0.5	固
14	废石英		0.1	固
15	废品		125	固
16	生活垃圾		78.1	固	按环卫部门要求处理
合计			1956.5

4污染防治措施

4.1大气污染防治措施评述

(a)大气污染源

根据工程分析，拟建项目的主要大气污染源有：单晶硅抛光片制作产生的甲苯、异丙醇、HF、HCl、硫酸雾、NH3、NOx；硅外延片制作产生的硫酸雾、NH3、HCl、SiHCl3和微量的PH3、B2H6；外延炉的石英管清洗产生HF、NOx。

(b)大气污染防治措施及可行性分析

银笛（扬州）微电子有限公司根据同类型企业废气治理措施的经验，对工程中的各种废气采取了技术可行、经济合理、可操作性较强的治理方案。废气处理主要工艺具体如下：

（1）有机废气

清洗工序产生的有机废气甲苯、异丙醇通过集气罩、风管导入吸附设备，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯、异丙醇，净化后的废气通过排气筒直接排入大气。甲苯和异丙醇的去除率可达80%以上。具体工艺流程见图4-1。

废气

吸附设备

风管

集气罩

引风机

排放

图4-1有机废气处理系统流程图

（2）酸、碱废气

酸性或碱性废气通过集气罩收集，由抽风机将其抽至填充式废气洗涤塔，用稀碱液或稀酸液进行喷淋吸收处理，净化后的废气通过排气筒直接排入大气，所产生的废气洗涤水进入废气洗涤循环水池，该水池中的排污水进入废水处理系统进行处理。酸、碱废气系统处理能力分别为80000m3/h，15000m3/h。

具体处理工艺流程见图4-2。

洗涤液

废气

洗涤塔

主风管

支风管

引风机

废气洗涤循环水池

进入废水处理系统

排放

图4-2酸、碱废气处理系统流程图

洗涤塔采用气液逆向吸收方式处理，即吸收液雾撒而下形成小水滴，气体由塔底向上逆流而上，使气体充分接触。采用具疏松表面的填充滤料，较大的表面积，可使气体、液体停留时间延长，提高吸收效率。净化后的废气通过排气筒排入大气。酸性废气（HF、HCl、NOx、硫酸雾）的去除效率达到90%，碱性废气（NH3）的去除效率达到95%以上。

（3）特种废气

对外延生产工序产生的特种废气HCl、SiHCl3以及微量的PH3和B2H6经过收集后进入湿式外延清洗器，采用5段水喷淋和水洗方式对外延尾气进行充分的水洗和稀释，将其中绝大部分的HCl、SiHCl3、B2H6和微量的PH3溶解于水，经过水洗后的尾气在设备中被大量的空气稀释，再通过管道向室外高空排放；废气洗涤水进入废水处理设施处理。

湿式外延清洗器设有手动的旋转刮板装置，用于清理尾气入气口处的附着物粘附在入气口的管壁造成堵塞；并采用氮气密封装置，将入气口清理装置的尾气与外界隔离，确保没有尾气泄漏；通过水流量表和调节阀，用于水流量调节，以满足使用；采用不锈钢做骨架，增加强度和仿腐蚀能力；其他均采用透明PVC材料，抗腐蚀和阻燃能力强，同时还便于观测内部的工作状况；设备结构简洁、防爆、可靠性高。

特种废气HCl、SiHCl3和微量B2H6的去除率达到99%，微量PH3的去除率约1%。

上述各种废气治理措施是半导体、IC企业普遍采用、经验较成熟的方案。只要加强管理、严格按照废气治理措施进行运营，本项目中产生的废气污染物在满足达标排放的前提下，会尽可能的减少向周围环境的排放量，使其对大气环境的影响得到合理的控制与减缓。

4.2水污染防治措施评述

(a)废水处理工艺

拟建项目废水设施建设遵循雨污分流、清污分流、分质处理的原则。

根据工程中废水来源、废水水质的不同，将废水按种类分为切片倒角废水、研磨废水、抛光废水、酸性废水、碱性废水、含氟废水、含氨废水、一般清洗水、废气洗涤水、生活污水和清下水（包括锅炉排水、纯水制备产生的浓水、空调系统排水）。其中生产工艺废水产生量为1778.3t/d，废气洗涤水为30t/d，生活污水49t/d。拟建工程所排总量为1857.3t/d，废水中的主要污染因子为：COD、SS、氟化物、NH3-N、TP。

根据建设项目的实际情况，并结合开发区的总体规划与环境保护规划，拟建项目对所产生的各种废水采取的处理排放方案为：

①含氟废水

含氟废水来源于单晶硅抛光片的清洗工序、外延炉石英管的清洗。含氟废水排至生产废水处理站相应的集水池。含氟废水采用化学沉淀法进行处理。废水先进入混凝反应槽，在凝反应槽内投加H2SO4、PAC、PCM、Ca(OH)2，然后进入沉淀池进行固液分离。废水再进入进入废水调节池。沉淀池污泥经污泥浓缩，用污泥泵送至污泥脱水机干化后运至指定地点填埋。

②酸碱废水

酸碱废水主要来自于各清洗工序、废气洗涤水，此类废水排至生产废水处理站的废水调节池中。由于酸碱废水中主要成分是无机酸、碱，故采用化学中和法处理。在反应槽中投加NaOH（或Ca(OH)2）、H2SO4使废水pH值调节为6-9。

③切片倒角废水、研磨废水、抛光废水

切片倒角用水喷淋硅粉产生的切片倒角废水；研磨废水主要来源于研磨清洗工序；抛光废水主要来源于抛光清洗工序。此类废水的主要成分为硅粉，先在使用点附近设沉淀池,然后排至生产废水处理站的废水调节池中，再用泵送入混凝反应槽进行沉淀处理。

④一般废水

一般废水来自抛光片的最后一道清洗和外延片的第一道清洗水，此类废水较为清洁，直接排至混合废水调节池中，与其他废水一起处理。

⑤生活污水

根据开发区的要求，建设后的生活污水经化粪池简单处理后，进入真州污水处理厂集中处理。

经过废水处理设施处理过的废水达到真州污水处理厂的接管标准，与生活污水接入真州污水处理厂处理达到《城镇污水处理厂排放标准》（JB18198-2002）表1中一级B级标准后，统一排入长江仪征段，废水排放标准见表4-1。

表4-1 地表水水质标准及废水排放标准

项目	真州污水处理厂的接管标准mg/L	自建废水站排放标准值mg/L	真州污水处理厂排放标准限值mg/L
PH(无量纲)	6—9	6-9	6-9
COD	500	≤200	60
SS	400	≤200	20
TP	8.0	≤5	0.5
NH3-N	35	≤35	15
氟化物	20	≤10	10

废水处理设施总排出口设有氟化物、PH值的自动监控仪表，并设有常规化学分析仪器，定时检测水中有害成分，监控生产废水处理效果。

具体废水工艺流程见图4-3。

含氟废水

废水调节池

沉淀槽

混凝反应槽

HF调节池

出水槽

自动过滤带

酸性废水

碱性废水

一般废水

混凝反应槽

中间水槽

沉淀槽

Ca(OH)2、H2SO4、PAC、PAM

P1

P2

P3

P4

污泥槽

外运处理

压滤机

达标排放

研磨废水

抛光废水

沉淀池

图4-3 废水处理工艺流程图

Na(OH)2、H2SO4、PAC、PAM

(b)污泥处理

回用处理系统和废水处理系统产生的污泥自流到污泥槽进行污泥的浓缩脱水，脱水的对象是污泥中的空隙水，浓缩的目的是为了减少污泥体积。浓缩后的污泥由泵送入到厢式压滤机，脱水的泥饼装袋后委托处理。污泥浓缩池、贮泥罐、厢式压滤机产生的滤液经过滤液储池收集后泵入综合废水调节池。

(c)真州污水处理厂概况

真州污水处理厂一期工程设计规模为2.5万t/d,主要接纳生活污水和工业废水。真州污水处理一期工程已在2005年10月建成投入试运行。

真州污水处理厂服务范围主要包括仪征主城区、汽车工业园、扬州化学工业园（管道路以东）、仪征经济开发区（包括船舶工业园）等范围。

真州污水处理厂废水处理工艺采用改良的A2/O工艺，污泥处理采用一体化带式浓缩脱水机。工艺流程见图4-4。真州污水处理厂

尾水处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB118-2002)中的一级B标准后排入长江仪征段。

图4-4  真州污水处理厂废水处理工艺流程图

改良A2/O

曝气池

泥饼外运

回

流

鼓风机房

紫外线杀毒

沉渣外运

粗

格

栅

进

水

泵

房

沉

砂

池

细

格

栅

二

沉

池

接

触

消

毒

池

出水至长江仪征段

排

江

泵

房

污泥泵房

储泥

浓缩脱水间

剩余

污泥

进 水

其工艺主要特点如下:①污染物去除效率高,运行稳定;②采用A2/O工艺,可将经过一级物理处理后的污水、通过厌氧、缺氧、好氧的三个生物处理过程，将水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸盐同时去除；③污泥沉降性能好；④能较好的耐受冲击负荷；⑤出水水质稳定。

建设项目在污水收集范围之内。建设项目废水排放量为1857.3t/d,仅为污水处理厂一期规模的14.3%，在其处理能力之内。本项目废水经厂区自建废水处理设施处理后各项污染物浓度均低于接管标准限值。目前仪征经济开发区的污水管网正在积极建设中，计划在建设项目投产前将全部完工并投入使用，本项目建设期为一年，与污水处理厂处理废水及仪征经济开发区污水管网建设能够衔接。

因此从接收水量、接管标准、时间和管网布设等方面综合考虑，本项目废水排入真州污水处理厂是可行的。

4.3噪声污染防治措施评述

①选用低噪声设备；②设置减振、隔振基础：对有振动的设备设置减振台、隔振基础以减少噪声产生和传递；③隔声、吸音处理：对空压机组、冷冻机组产生高噪声的设备，设置隔音门窗，墙面采取吸音板。以减少噪声的对外传播。此外，采用封闭式厂房、隔声墙壁，隔声墙壁、隔声窗等措施隔离噪音，利用建筑物隔声减轻污染；同时在厂区加强绿化也可降低噪声对装置区外的影响。经上述治理后可有效的减少各类噪声源在厂区内外的扩散，降低噪声对环境造成的污染，厂区附近环境噪声基本能达到《工业企业厂界噪声标准》中的Ⅲ类标准。

4.4固体（废液）污染防治措施评述

建设项目产生的固体废物种类主要包括硅片表面处理产生的废有机溶剂、废活性炭、表面处理废物（废硫酸、废氢氟酸、废盐酸、废混酸和废碱）、污水处理产生的含氟污泥、废氨水、废研磨剂、废抛光剂、单晶硅渣、废石墨、废石英以及生活垃圾等，固体废物产生总量为1961t/a。

本项目根据各种固体废物的产生来源、组成及性质，对照《国家危险废物名录》，将固体废物分为危险废物和一般固体废物。再依据其可利用情况，分别采取与之相应的处理/处置措施。具体方案如下：

（1）危险废物:对属于国家规定危险废物之列的固体废物，必须委托有资质的处置单位进行妥善处理。其中废有机溶剂、废活性炭、废硫酸、废氢氟酸、废盐酸、废混酸、废碱、含氟污泥属于危险废物，应按照危险废物处置的有关规定，委托具有相应资质的单位进行无害化处理。

（2）一般固体废物：废氨水、废研磨剂、废抛光剂、单晶硅渣、废石墨、废石英等具有一定再利用价值的废物，由相应的废品回收部门进行收购；对员工办公与生活中产生的生活垃圾，在厂内定点收集储存，按照当地环境保护和卫生管理部门的要求统一处置。

通过上述措施，拟建项目产生的各种固体废物的处置/处理率达到了100%，没有直接外排。

4.5非正常排放防范措施

（1）对废水处理装置进水水质进行常规监测，及时调整运行参数，确保稳定达标。

（2）加强安全管理，建立岗位责任制，避免因管理不当、操作失误等，造成不达标排放。

（3）对水泵、阀门等定期检修维护，防止跑、冒、滴、漏。

（4）对各种化学药品的储存与使用，要严守管理制度与操作要求，严防泄露、着火等意外事故，消除安全隐患

（5）制定定时巡检制度，对污水、废气处理设施非正常情况及时发现、及时处理，尽量减少污染物外排。

4.6绿化

绿化在防治污染保护环境方面起着特殊作用。绿色植物具有吸附尘埃、吸收CO2、NO2、SO2、净化空气、减弱噪声、调节温度湿度、改善小气候的功能。因此，在加强“三废”治理的同时，搞好绿化环境，美化厂容，改善劳动条件，增强职工健康，提高工作效率具有积极的作用。

1：绿化原则

在厂区绿化设计中，主要以乔、灌木以及草地相结合的自然式布局为主，其主要优点为：利用多种植物在空间上的配合，可以充分吸收尘埃，吸收CO2、NO2、SO2等气体，削减污染物的排放量，有效的减弱噪声：充分发挥多种植物在形体、姿态、色彩等多方面美学特征，通过和谐、对比、变化、统一等原则，有机结合，体现树木群落的整体美。

乔木、灌木、草地组合遵循以下几放面的协调与统一：

（1）树木的大小

乔木与灌木均有大小之分，各种树又表现不同的高矮尺度。

乔、灌木的妥善搭配，可使树丛具有丰富的层次感。在配置中要综合考虑整体中各树木的平、立面关系，不同高度的树木做到错落有致。

（2）常绿与落叶

常绿树可以稳定地保持厂区四季绿貌。落叶树一般季相特色比较明显，尤其是花木和一些入秋后叶色呈黄、橙、红、紫等色彩的树种，在落叶后仍具有优美姿态。发挥常绿与落叶之所长，结合它们的高矮尺度合理组合。

（3）树木的栽植

树木栽植有孤植、对植、列植、从植和群植、林植等多种。其中以列植、从植和群植方式为主，在具体应用中根据具体情况结合起来应用。

（4）草地的配置

厂区绿化中铺植草坪是一项重要的、具有普遍意义的绿化项目。厂区中裸露的地面（道路除外）应全部用草皮覆盖。

2．绿化方案

厂区绿化采用集中与分散相结合的方式进行。

（1）厂区空地较多，采用集中绿化方式，大片空地以装饰性草坪为主。该类草种的选择，应具有低矮、枝密叶细和本身生长整齐的特点，且以常绿草种作为理想。常用种类有天鹅绒芝草、野牛草、羊胡子草等。在草坪中间孤植、对植、列植、从植一些高大的乔木，主要起点缀作用，可以采用开花乔木并具有显着色彩效果的树种，如合欢、玉兰、泡桐、木棉、巨紫荆等都是乔木观花树种；着色率较高的树种有：紫薇、红枫、紫叶李、枫香、三角枫、黄栌、银杏、柿树、黄连木、乌桕、池杉、重阳木、石楠、白蜡等。

（2）道路两旁绿化以种植行道树为主，考虑在道路两侧种植高大乔木。形成行列式的林荫道。在厂区主干道两侧，还种植绿篱、灌木，形成多层次观赏景观。主干道可以选用棕榈、榉树、香樟等为骨干，辅之以女贞、广玉兰等常绿乔木。中层可选用珊瑚、紫薇、月季等开花灌木，地层草坪绿化。厂外主干道种植钻天扬、白桦、云杉。车间人行道两侧采用侧柏、小叶黄杨等绿篱进行绿化，亦可设置条带花池，种植季节性花卉。生活次干道选用香樟、合欢、梧桐等园林树种，辅之以夹竹桃、紫薇等灌木及草本花卉等植物。

（3）在办公生活区周围种植景观树，树种选用紫穗槐、垂柳或侧柏等。并布置花坛、花架，种植四时花草，沿步行小道两侧设植绿篱，花卉在整个厂区中的应用不如树木和草坪那样广泛，只是做重点装饰的材料，但在办公生活区布置比重应大一些。其布置方式有规则式和自然式两种，规划时又分为花坛、花境、花台等几种方式。一般用一、二年生草花和宿根性花卉，不同花卉应彼此参差交错，疏密相间，并注意景观的层次要求。

（4）厂区边界以种植高大乔木为主，上层应以高大杨树、槐树、水杉等为主，中层以女贞、广玉兰等常绿乔木为主，辅之以梧桐、紫荆、金丝桃等，低层以结缕等草皮绿化。

3.绿化面积

建设项目绿化面积约占总占地面积的38.8%。

4.7排污口规范化设置

（1）废水排放口规范化设置

本新建项目废水包括生活污水和生产废水，生活污水排入污水厂，生产废水经自建污水处理站处理达标后排入污水厂。按《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》[苏环控（97）122号]，建设项目厂区的排水必须实施“雨污分流”制，公司设一个废水总排放口，一个雨水排放口。同时排污口必须进行规范化建设，便于采样、监测，并设置排污口标志。

（2）废气排气筒（烟囱）规范化设置

建设项目废气排放口必须进行规范化建设，按要求装好标志牌，废气排气筒高度应符合国家大气污染物排放标准的有关规定。

（3）固定噪声污染源规范化标志牌设置

固定噪声污染源对边界影响最大处，应设置噪声监测点，根据上述原则并兼顾厂界形状在边界上设置噪声监测点同时设置标志牌。

（4）固体废物贮存（处置）场所规范化设置

露天贮存工业固体废物的，应当设置专用的贮存设施或堆放场地；并根据实际情况采取苫布遮盖或适时洒水等，以防二次扬尘污染。固体废物贮存（处置）场所应在醒目处设置标志牌。

4.8环保投资及“三同时”

建设项目环保投资清单见表4-2；污染治理措施“三同时”见表4-3。

表4-2 环保投资清单

污染源	环保设施名称	环保投资 （万元）	效 果	进  度
废  水	废水处理系统	100	达到标准要求	主体工程同时建成
废  气	有机废气吸附系统	200	达标排放
	酸碱废气洗涤系统
	特种废气洗涤系统	设备自带
噪  声	隔声、采用低噪 设备、防震基础等	100	厂界达标
固体废物	外委处理、堆放场地	10	零排放
绿化	树木、草坪等	150	绿化率为38.8%
分析监测	水质检测仪器、设备	4	满足有关要求	与废水处理 设施同步
排污口整治	流量计、COD在线监测仪、排污口标志	4		与废水、废气等 处理设施同步
管网建设	生产废水管网	8		与厂区基建同步
合  计		576

表4-3 “三同时”验收表

序号	名  称	验收内容	处理效果
1	水污染防治设施	生产废水经厂内废水处理站经过有效预处理后与生活污水进入真州污水处理厂统一处理。	达到污水厂的接管标准
2	大气污染防治设施	有机废气采用活性炭吸附，去除效率达到80%；酸、碱废气采用填充式洗涤塔进行净化处理，去除率达到90%、95%；特性废气采用湿式外延清洗器处理，去除率达到相应要求，排气筒高度满足要求。	满足有关标准要求。
3	噪声污染防治措施	选用低噪声设备，并按照工业设备安装的有关要求安装。对振动源采取减震、隔声措施，通过建筑物阻隔、绿化等减声降噪。	厂界达标
4	固体废物治理措施	危险固废委托有资质的单位进行处理，一般工业固体废物由相应单位回收利用，生活垃圾按照环卫部门要求处置。	零排放
5	绿化措施	在厂内四周、道路两侧、生产厂房、宿舍等周围种植树木、铺设草坪等。	绿化面积51979
6	应急预案	编制环境风险应急预案文档，落实应急预案中的软、硬件要求。	满足相关管理部门的要求，具有可操作性

5清洁生产与循环经济分析

5.1产业相符性分析

银笛（扬州）微电子有限公司是新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司在仪征市经济开发区新区投资8000万美金建立的，制作单晶硅抛光片和硅外延片，按照《国民经济行业分类》（GB/T4757-2002），本项目属于C4061电子元件及组件制造。

本项目符合国家、商务部《外商投资产业指导目录》（2004年修订）中“鼓励外商投资产业目录”制造业中第二十部分第10条“半导体、元器件专用材料开发、生产”与国家、科技部、商务部《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》（2004年度）信息中的第1“电子材料”中的相关内容；符合省经贸委2004年《江苏省工商领域鼓励投资的产业、产品和技术导向目录》中制造业类第十九项电子及通信设备制造业第3项和苏发改投资发[2004]198号《江苏省鼓励投资产业指导目录》中制造业类第电子及通信设备制造业第4项的内容；符合国家发展和改革委员会令2005年第40号《产业结构调整指导目录》（2005年本）鼓励类第二十四项：“信息产业”中第23条“新型电子元器件制造”的内容。

综上所述，本项目的建设符合国家的相关产业。

5.2清洁生产

清洁生产是对企业提出要求，从原料、生产、产品和服务全过程，减少和节约原材料、能源，淘汰有毒材料；不断采取改进设计工艺、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施，从源头削减污染，提高资源利用效率，减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放，以减免或者消除对人类健康和环境的危害。

本项目为半导体单晶硅抛光片、硅外延片生产，具有特种工艺，特种原材料和特种设备的特点，为此对项目的清洁生产进行分析和提出存在的问题。

(a)生产工艺与设备

a、本项目为单晶硅抛光片、硅外延片生产。单晶硅棒经切、磨、抛、清洗而成，在进行机械抛光的同时，用化学方法做表面处理，即消除应力，又保证硅片表面平整度，再经过超纯清洗技术去除硅片加工过程中产生的表面污染；硅外延片则以每台外延炉为单元组成生产流程，硅衬底材料经过简单清洗后进入外延炉，通过化学气相淀积法在硅衬底材料上生长一层单晶硅的同质外延片。生产工艺流程简单，各生产制程配料合理，技术稳定，在保证产品质量的前提下，做到了生产工艺的清洁性。

b、特种气体三氯硅烷、磷化氢、乙硼烷、氯化氢存于进口钢瓶柜，氢气、氮气、高纯氮由大宗气体供应商在厂区内建站制造，这些气体通过气体管道、分配阀供给，使用量相对较少，不与人体和环境接触，具有泄漏警报装置。

c、辅助材料主要是硫酸、盐酸、、氢氟酸、混酸、双氧水、氢氧化钠溶液和氨水等清洗液，清洗方式采用浸渍清洗，清洗液均多次重复使用，定期更换并分类用专用容器存放，收集后委托有资质的单位处理。

d、项目选用的生产设备均为进口设备，计算机程序控制，使用清洁能源，氧化炉和外延炉采用电加热的方法，湿式外延气体清洗器、酸碱废气洗涤塔的净化效率较高，成套设备及使用均通过国际或欧洲相关机构的认证和培训，运行安全可靠。

(b)单位产品的物耗和排放

项目生产单位产品的能耗、物耗和单位产物量见表5-1。

表5-1 单位产品的能耗和产污

序号	项目	单晶硅抛光片	硅外延片
1	生产规模	300万片/年	60万片/年
2	原材料消耗	0.67kg/片	0.675kg/片
3	新鲜水耗	0.246 t/片	0.196 t/片
4	废水	0.181 t/片	0.145 t/片

(c)清洁生产保障措施

清洁生产是要求从原材料、生产工艺到产品服务的全过程控制，彻底改变单纯的末端治理的污染防治模式，因此，必须建立完善可靠的保障体系，把清洁生产管理放在首要位置，才能保障保证清洁生产的落实，因此建议银笛（扬州）微电子有限公司采取以下清洁生产保障措施：

（1）成立清洁生产管理机构，建立奖惩考核目标责任制度。清洁生产管理机构应负责整个公司各个生产环节的清洁生产管理工作，制定清洁生产管理规程和奖惩考核目标，把控制使用化学物品、节能、降耗纳入到生产管理目标中。

（2）开展清洁生产审计工作，由公司总经理任审计小组组长，为开展清洁生产审计工作奠定良好基础。审计小组应制定并实施减少能源，水和原材料使用，消除或减少产品和生产过程中有害物质的使用，减少各种废物排放量。

（3）加强业务培训和宣传教育工作，使每个职工树立节能意识，环保意识，保障清洁生产的目的顺利实施。

5.3循环经济

循环经济主要遵循“减量化、再利用、资源化”三大原则，本项目以科技进步为动力，以清洁审查为载体，以提高资源能源的利用效率、减少废物排放为主要目的，努力构建全新的循环经济发展体系。

（1）本项目对生产中排放的废气采取分类的收集方式，确保负压操作，对酸、碱废气采用填充洗涤塔处理；特种废气采用专用的湿式外延气体清洗器处理，在保证各污染物达标排放的前提下，尽量降低向周围环境排放的污染物总量。

（2）在清洗方式上采用淋洗、喷洗的方法，酸、碱废气的喷淋液多次重复利用，循环冷却系统的水循环利用，大大节约新鲜水用量。

（3）本项目使用的硫酸、盐酸、氢氟酸、、双氧水、氨水和氢氧化钠溶液等清洗液重复利用。

（4）项目产生的危险废物全部委托处理，普通固废最大限度的利用，各种固体废物取向明确。

以上措施可有效的降低生产成本，减少废水污染物及固体废物的产生量，“变废为宝”，从源头上削减污染物的产生，亦可减少后续污染治理费用，符合循环经济的要求。

综上所述，建设项目符合清洁生产以及循环经济的要求。

6环境质量现状评价

6.1大气环境质量现状监测与评价

(a)大气环境质量现状

（1）监测布点、监测项目

在以建设项目所在地为中心的评价范围内，按环境功能区与主导风向相结合的布点原则，共布设3个大气监测点，监测点位、监测项目及所属功能区见表1。具体位置见附图2-2。

表6-1  环境空气监测点位及监测项目表

监测点编号	点位名称	方位	距离m	监测项目	所在环境功能
G1	建设项目所在地	—	—	SO2、NO2、PM10、硫酸雾、HCl、氟化物、NH3、异丙醇、甲苯	二类区
G2	蒲心村	南	100		二类区
G3	园区管委会	西偏北	1700		二类区

（2）监测结果

通过监测结果的统计分析，可得知各监测点PM10、NO2、SO2、氟化物、氨、氯化氢小时浓度值和日平均浓度值都没有出现超标现象；硫酸雾、异丙醇、甲苯均未检出，G3（园区管委会）监测点的氟化物也未检出。

6.2地表水环境质量现状监测及评价

(a)地表水环境质量

（1）断面和监测点布设

断面监测点布设为：长江断面为每断面布设3个测点，分别离北岸50m、100m、250m。取样位置为水下0.5m。

表6-2 地表水现状调查断面布设

	断面
	编号	位置
水体	Ⅰ	真州污水处理厂排口上游500m
	Ⅱ	真州污水处理厂排口下游1000m
	Ⅲ	真州污水处理厂排口下游2000m

（2）水质现状监测结果

长江仪征段水质尚可，长江（Ⅰ～Ⅲ断面）评价江段各断面除SS外其余各监测指标：pH、COD、氨氮、氟化物标准指数Pij均小于1，均达到了《地表水环境质量》（GB3838-2002）Ⅲ类水质标准限值，能满足地表水Ⅲ类水体功能要求。

(b)环境噪声现状评价

（1）监测布点

在厂界周围共布设8个测点。具体布点见附图3-1。

（2）监测结果

监测结果与标准值比照评价表明，目前周围声环境质量较好，各测点昼夜监测值均达标。

7环境影响预测及评价

7.1大气环境影响预测

有风气象条件下，正常工况和非正常工况下各污染物（NO2、NH3、氟化物、氯化氢）排放对周围环境的影响很小。在各类稳定度下颗粒物、氯化氢、氨、氮氧化物、氟化物的最大落地浓度均小于标准限值。

静小风气象条件下，正常工况和非正常工况下各污染物（烟尘、NO2、NH3、氟化物、氯化氢）排放对周围环境的影响虽然大于有风气象条件，但各稳定度下NO2、NH3、氟化物、氯化氢的最大落地浓度均小于标准限值，对周围环境影响较小。

无组织排放的氟化氢、氯化氢、硫酸雾、氨气、氮氧化物的厂界浓度达标。无组织排放的卫生防护距离为100米。

7.2地表水环境影响预测

正常排放：建设项目废水经预处理后排入真州污水处理厂处理，最终达标排入长江仪征段，在正常情况下，不会对长江仪征段水质产生大的影响。

事故排放：由于事故时废水均进入事故池，不会排入水体，因此不会对地表水环境产生不利影响。

7.3声环境影响预测

建设项目厂界各预测点的昼间、夜间噪声预测值均可达到《工业企业厂界噪声标准》中相应标准的要求。因此待项目建成后，其周围噪声能够达到标准要求。

7.4固废环境影响分析

建设项目产生的固废（液）均得到妥善处置，不向环境排放，因此不会对环境产生有害影响。

8总量控制分析

8.1总量控制因子

根据《江苏省排放污染物总量控制暂行规定》的要求，结合建设工程的具体特征，确定本项目的总量控制因子为：

大气污染总量控制因子：NOx、甲苯、异丙醇、硫酸雾、氯化氢、氟化氢、氨气、三氯硅烷、磷化氢、乙硼烷；

废水总量控制因子： COD、SS、NH3-N、TP、氟化物；

固体废物总量控制因子：工业固体废物。

8.2总量控制指标

根据工程分析核算结果，结合总量控制的基本原则和要求，该项目废水污染物排放的总量进行统一申报。污染物排入污水厂的量、环境的总量及其控制指标建议值，具体数值列于表10-1。

表10-1  项目污染物排放总量指标 单位t/a

种类	污染物	产生量	自身削减量	厂内排放量	进入环境量	建议申请量
废气	甲苯	0.102	0.082	——	0.020	0.020
	异丙醇	0.239	0.191	——	0.048	0.048
	HF	6.134	5.521	——	0.613	0.613
	HCl	17.732	17.506	——	0.226	0.226
	H2SO4	0.818	0.736	——	0.082	0.082
	NOx	11.587	10.428	——	1.159	1.159
	NH3	4.984	4.735	——	0.249	0.249
	SiHCl3	0.120	0.119	——	0.001	0.001
	PH3	2×10-6	2×10-8	——	1.98×10-6	1.98×10-6
	B2H6	2×10-6	1.98×10-6	——	2×10-8	2×10-8
废水	COD	92.354	8.362	83.992	39.560	39.560
	SS	130.198	60.785	69.413	13.187	13.187
	氟化物	21.023	14.604	6.419	6.419	6.419
	NH3-N	12.246	0.811	11.435	9.0	9.0
	TP	0.069	0.000	0.069	0.009	0.009
清洁排水	COD	11.502	0	——	11.502	11.502

8.3总量平衡方案

本项目为新建项目，污染物总量控制首先考虑落实个项目污染治理措施，实现污染物达标排放，然后在技术经济合理条件下，尽可能减少污染物对周围环境的排放量。

项目排放的污染物总量应向当地环保主管部门申请，有环保部门在区域内进行调剂，确保区域内的污染物排放总量平衡。

根据仪征经济开发区的规划情况，COD、SS、NH3-N、TP 纳入真州污水处理厂排放总量之中，氟化物和大气污染排放指标向当地环保部门申请，在区域内平衡调剂。银笛（扬州）微电子有限公司将接受环保部门的污染物排放总量的分配与监控。

9环境风险评价

9.1风险评价结论

本项目使用的特种废气PH3、B2H6、HCl其实用量很少，存储量也很少，采用特总气体柜存储；对于氢氟酸、硫酸、盐酸、、混酸、氨水和氢氧化钠溶液采用合理的存储方式存放于化学品仓库中。根据相关导则判定，本项目不够成重大危险源，进行二级评价。

本项目的风险类型可能是火灾、爆炸、泄露，此类事故发生的风险值远小于化工企业风险统计值，因此本项目的风险是可接受的。

9.2事故防范

(a)事故防范措施

（1）合理布置总平面和工艺布局，主体建筑划分为办公区、抛光生产区、外延生产区、综合动力站、仓库和辅助生活设施。厂区设置环行通道，建筑物间距满足规划要求，保持充分缓冲空间和人物隔离距离。

（2）易爆区域的防范

对具有爆炸危险的区域（气体交接区、为期处理间等）设有防暴与泄爆面积和安全的泄爆方向；内墙采用250毫米厚的钢筋砼墙防爆墙体；内门均做防爆门，入口处设有急救措施，地面采用不发火地面，气体交接间、为期处理间设有事故排风系统，且采用防爆排风机。

（3）化学药品的防范

集中使用化学液的抛光片、外延片清洗间需设紧急喷淋洗眼器及安全冲淋装置。使用点设有局部排风，保证室内良好的工作环境，化学药品设专人保管。执行国家关于化学危险品运输、储存、使用制度和操作规程的规定，配备现场急救设备、药品，从事生产人员均培训持证上岗。

（4）特种气体的防范

特种气体输送管道及管件的安装、使用遵守国家压力管道安全管理与监察规定，配备泄漏显示报警和防爆装置，

（5）用电安全

所有电气设备的金属外壳、金属底座、电缆金属包装层、电缆保护钢管以及所有金属支架均与接地装置连接，以保证安全。

（6）火灾的防范

设有一套完整的火灾报警、消防联动控制系统及消防灭火系统是重大的安全措施。

(b)事故应急预案

（1）应急预案运作描述

本应急预案是针对公司可能发生事故，加以规划其应变架构工作。故在事故发生时，企业根据发生的环境风险事故类型，依照事故风险等级划分的内容判定可能产生的事故风险程度等级，并由现场指挥员视事件发生状况启动相应的应急等级，应变人员应立即依照计划展开应变救灾工作。

（2）第一级应变时，以现场主管为应变指挥人员，负责第一级应变计划进行应急抢救工作。

（3）第二和第三级应变时，由现场指挥员视事件发生状况激活相应的应急等级。若为第二等级灾害，则发布全厂室内、外广播，执行第二级应变计划，通知所有应变组织，由厂务处最高主管或其代理人担任厂内应急现场指挥员。当应急领导指挥部总指挥到达现场时，指挥工作则由其接管，此时厂内应变组织及厂外支持单位，应立即采取必要应变行动。

（4）若事故有可能波及厂外，则启动第三级应变计划。第三级应变应由消防大队、安监局等当地主管部门统筹指挥，厂内应急总指挥协助指挥。

(c)事故应急措施

（1）紧急关断、紧急停车

生产装置、管线如发生意外状况时，紧急将阀门关闭，防止泄漏源持续泄漏。紧急停车的命令由现场指挥员下达，操作班人员执行停止生产作业，保安人员负责灾区四周戒备和非应变人员引导。

（2）危险化学品、燃料的火灾/爆炸应急措施

对厂区内的初期火灾以自救为主，发生大火或无法控制的火灾时以专业消防部门的外援为主；对危险化学品的火灾，现场抢险救火人员应处于上风向或侧风向，并佩戴防护面具和空气呼吸器，穿戴专用防护服等个体防护措施；对火情要先控制，后消灭，即火势较大时，应先堵截火势蔓延，扑灭周边火点以控制燃烧范围，然后逐步扑灭火势；对有可能发生爆炸、爆裂、喷溅等特别危险需紧急撤退的情况，应按照统一的撤退信号和撤退方法及时撤退；火灾扑灭后，仍然要派人监护现场，消灭余火。

（3）化学品泄漏应急措施

首先，进入现场的救援人员必须配备必要的个人防护器具。如果泄漏物具有易燃易爆性，事故中心区域应严禁火种，同时采取切断电源、禁止车辆进入、立即在边界设置警戒线。根据事故情况和事态发展，确定事故波及区域的范围、人员疏散和撤离地点、路线等；如果泄漏物有毒，应使用专用防护服、隔绝式空气呼吸器。为了在现场上能正确使用和适应，平时应进行严格的适应性训练。立即在事故影响区域的边界设置警戒线。根据事故情况和事故发展，确定事故波及区人员的撤离；应急处理时严禁单独行动，要有监护人，必要时用水等掩护。

其次，及时控制泄漏源。采取关闭阀门、停止作业或改变工艺流程、局部停车、打循环、减负荷运行等措施；采用合适的技术手段堵住泄漏处。

（4）有效处理泄漏物，防止二次污染

围堤堵截：筑堤堵截泄漏液体或者引流到安全地点。贮罐区发生液体泄漏时，要及时切断雨水管网与外界的联系，防止物料沿雨水管外流。

稀释与覆盖：向有害物蒸气云喷射雾状水，加速气体向高空扩散。对于可燃物，也可以在现场施放大量水蒸气或氮气，破坏燃烧条件。对于液体泄漏，为降低物料向大气中的蒸发速度，可用泡沫或其它覆盖物品覆盖外泄的物料，在其表面形成覆盖层，抑制其蒸发。

收容（集）：对于大型泄漏，可选择用隔膜泵将泄漏出的物料抽入容器内或槽车内；当泄漏量小时，可用沙子、吸附材料、中和材料等吸收中和。

废弃处理：将收集的泄漏物运至废物处理场所处置。用消防水冲洗剩下的少量物料，冲洗水排入污水系统处理。

同时，对危险化学品泄漏的具体处理措施，要依据物质安全资料表(MSDS)来实施。

（5）伴生、次生污染的预防

危险化学品库房须按照《建筑设计防火规范》、《常用化学危险品储存通则》等标准的要求，按照危化品不同性质、灭火方法等进行严格的分区分类和分库存放；同时，厂房、库房建（构）筑物的结构形式以及选用的建筑材料，应符合相应等级防火、防爆要求；发生事故时，及时将周边具有危险特性的化学品转移。

(d)事故应急环境监测

公司发生重大环境风险事故时，应立即向地方报告，后续的救灾工作及应变组织运作，交由地方相应部门统一指挥。公司应急领导指挥部要全力配合、支持相应部门的抢险救灾工作，提供必要的应急工具、设备和物质供应。环境的应急监测由专业的环境监测人员进行，对事故现场污染物在下风向的扩散不断进行侦查监测，配合相关的专业人士对事故的性质、参数和后果作出正确的评估，为指挥部门提供决策的依据。

10项目厂址可行性分析

10.1项目选址与规划相容性

银笛（扬州）微电子有限公司是新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司在仪征市经济开发区新区投资8000万美金建立的，项目建成后，其年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片。

项目拟建于仪征市经济开发区新区高新技术产业园，沿江高速北侧，国光北路西侧，锦绣路南侧。其用地属于高新技术产业园用地。

因此，本项目拟建于仪征市经济开发区高新技术产业用地，是符合仪征市经济开发区总体规划要求。

10.2项目选址与评价区域的环境质量现状的相容性分析

评价区大气环境质量标准现状评价表明，该地区大气环境质量状况良好。

根据本次环评在纳污水体长江仪征段上布设的各监测断面的监测资料与现状评价结论，地表水环境中各断面除SS指标以外其他指标均能达到《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅲ类水域的限值要求。

根据现状监测及评价结果，评价区域内的噪声现状监测值均能达到功能区标准，声环境质量较好。

10.3本项目实施后对周围环境的影响

根据工程分析确定的污染物排放源强，通过大气环境影响预测、地表水环境影响分析、噪声环境影响预测，表明本项目实施后，大气中的NOx、硫酸雾、氯化氢、氟化氢、氨气、甲苯、SiHCl3、磷化氢、乙硼烷等浓度均可以满足对应的环境质量标准浓度的要求。拟建项目从卫生安全角度出发，设置了100m的安全防护距离，在卫生防护范围内的景巷村居民拟搬迁。本项目的生产废水经过厂内的废水处理设施处理达到接管标准后与生活污水进入真州污水处理厂做深度处理，处理达标后排入长江仪征段。项目建成后，其厂界噪声强度仍可以满足相应标准的要求，不会改变现有的生环境功能要求。因而，工程实施后对附近的水环境、大气环境、声环境及环境敏感点的影响是可以接受的。

通过上述分析，本项目的厂址选择，从环保角度而言是合理的。

11公众参与

通过调查，项目所在地周围社会公众对项目的建设总体上是了解的，认为项目对当地经济发展有一定的促进作用，对项目建设有10%的人坚决支持，53.3%的人有条件支持，36.7%的人无所谓，没有反对意见；56.7%的人认为其造成的环境影响程度为一般，6.6%的人认为其环境影响较小，36.7%的人认为项目对周围环境的影响程度不清楚。建设单位应认真落实各项污染防治措施，严格执行环境保护的“三同时”制度，确保建设项目对周围环境不造成污染。

12综合结论

本项目符合国家相关产业，符合当地总体规划和环境保护规划的要求，厂址选择环境合理。建设项目采用国内外先进设备、自动化程度较高、资源消耗、污染物产生指标较低，符合循环经济理念；在认真落实各项环境保护措施后，污染物可以达标排放，并按当地环境管理部门下达的排放总量指标进行控制，对周围环境的影响是可以接受的，不会改变项目周围地区当前的大气、水、声环境质量的现有功能要求。

建设单位应加强管理，使环境影响评价中提出的各项措施得到落实和实施。从环境保护的角度上来说，本建设项目是可行的。