测量系统指引

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目录】

【目录

1 目的和范围

2 职责

3 术语和定义

4 符号和缩略语

5 参考文件

6 程序

7 记录

8 附录

】

【修订履历

修订履历】

版本日期修订概述修订理由

A0 2008-7-25 取消MSP-C019-002《测量系统评估程序》文件录入CWS系统文件标题测量系统分析指引

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】

正文】

【正文

1 目的和范围

目的：分析测量系统的变差，使测量系统处于受控状态，以确保测量系统所测得的数据有效可靠。

范围：SEF中标识的产品A类关键尺寸测量所使用的测量系统；

各Model的Control Plan中标识的特殊特性测量所使用的测量系统。

2 职责

2.1 PROD

2.1.1 负责安排测量人员参加测量系统的测量分析工作；

2.1.2 针对测量系统不合格时，确定和实施合适的改善对策、纠正和预防措施。

2.2 QC

2.2.1 QC助理工程师负责测量系统分析的编制、测量、试验、分析统计工作；

2.2.2 QC主管工程师/工程师负责对测量系统分析计划的批准和结果的评价；

2.2.3 针对测量系统不合格时，确定和实施合适的改善对策、纠正和预防措施；

2.2.4 QC助理工程师负责对仪器稳定性（或称漂移）的评定。

2.3 LCM-QS

2.3.1 QS仪校助理工程师/工程师负责对异常仪器的校准和处理；

2.3.2 QS仪校助理工程师/工程师负责对仪器的偏倚、线性的评定；

3 术语和定义

3.1 量具

任何用来获得测量结果的装置，包括用来测量合格/不合格的装置（如：塞规）。

3.2测量系统

用来对被测特性赋值的操作、程序、量具、设备、软件以及作业人员的集合,用来获得测量结果的整个过程.

3.3 偏倚

指测量结果的观测平均值与基准值的差值。

3.4 稳定性（或称漂移）

指测量系统在某持续时间内测量同一基准或零件的单一特性的获得的测量值总变差，即偏倚随时间的增量。

3.5 线性

指在量具预期的工作量程内，偏倚值的差值。

3.6 分辨率

测量系统检出并如实指示被测特性中极小变化的能力。

3.7重复性

指由一个评价人，采用同一个测量仪器，多次测量同一零件的同一特性时获得的测量值的变差。

3.8再现性

指由不同的评价人，采用同一个测量仪器，测量同一零件的同一特性时测量平均值的变差。

3.9Gauge R&R

指对重复性与再现性两项指标的综合评定。

3.10 有效性

分为评价人的有效性和系统有效性

3.10.1 评价人有效性文件标题测量系统分析指引

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评价人对同一测量零件的所有测量结果一致，且与基准一致，称为有效。有效的零件占测量零件的比率。

3.10.2 系统有效性

测量系统中所有评价人对同一零件的所有测量结果一致，且与基准一致，称为系统有效。系统有效的零件数占测量零件的比率。

3.11 漏判率

仅针对每个评价人，即将基准为不可接受的零件漏判为可接受的机会百分率。

3.12 误判率

仅针对每个评价人，即将基准为可接受的零件错判为不可接受的机会百分率。

4 符号和缩略语

无

5 参考文件

5.1 MSP-Z-024《监视和测量装置控制程序》

6 程序

6.1测量系统的分类

6.1.1 计量型测量系统

输出的结果是连续数据的测量系统

6.1.2 计数型测量系统

6.1.3 计数型量具测量系统

输出的结果是把与指定的限值比较来判断零件接受或拒收的测量系统

6.1.4 目视(外观)测量系统

输出的结果是根据标准通过目视检查判定零件合格/不合格的测量系统

6.2 测量系统分析的时机

6.2.1 测量系统投入使用前或即将投入使用时；

6.2.2 使用中的计量型测量系统Gauge R&R、计数型量具测量系统一致性在每次量具校正后进行评定；

6.2.3 使用中的目视（外观）测量系统的系统有效性，每半年评定一次(非汽车产品如是同客户的派生产品（如TFT系列）相互可以参考)；

6.2.4 使用中的量具的偏倚、线性在量具投入前或每次量具校正后由仪校工程师根据进实际需要考虑是否进行评定；

6.2.5 使用中的电子类测量仪器的稳定性（或称漂移）在每次量具校正后进行评定。

6.3 测量系统的识别

6.3.1 新量具或测量仪器使用前由仪校工程师根据实际情况需要（是否需对该量具的偏倚和线性进行评定）制定<测量系统分析计划>报其主管工程师批准。

6.3.2 在产品开发阶段或有过程变更或有新的过程导入时，QC助理工程师/工程师对所需的测量系统及要求进行识别，主要是所需要测量系统的类型、量具的精度和分辨率。对相应的测量系统制订评估计划，并将<测量系统分析计划>报QC主管工程师。

6.4 计量型测量系统分析程序

6.4.1 偏倚评定程序

6.4.1.1 试验工作准备文件标题测量系统分析指引

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6.4.1.1.1 由仪校助理工程师/工程师选取1PC基准件，此基准件的基准值应落在测量范围中间，并此基准件是通过要评定的测量系统更高级别的测量系统进行校正合格。

6.4.1.1.2 仪校助理工程师/工程师确定1名仪校助理工程师对基准件进行测量。

6.4.1.2 测量试验的实施

6.4.1.2.1 若校准是正常程序的一部分（如卡尺，使用前归零），则应对量具进行自主校准；

6.4.1.2.2 由仪校助理工程师对1PC基准件进行测量，每个基准件使用该量具测量15次，并将测量的数据填写在<测量系统偏倚评估报告>中。

6.4.1.3 试验结果的分析

仪校助理工程师/工程师将数据录入<测量系统偏倚评估报告>中进行数据分析。

6.4.1.4 偏倚评定

仪校助理工程师/工程师对分析的结果进行判断，判定的准则为：

如果0落在偏倚置信区间上下限内，偏倚是可以接受的，反之，不可接受。

6.4.1.5 不合格测量系统的处理

若0落在偏倚置信区间上下限内时，仪校助理工程师/工程师分析原因，仪器组对量具重新校准，相关部门提出改善对策并实施对策，仪校助理工程师跟进对策的实施和并根据6.4.1.1~6.4.1.4步骤再次评估。

6.4.2 线性评定程序

6.4.2.1 试验工作准备

6.4.2.1.1 由仪校助理工程师/工程师选取5PCS基准件，这些基准件的基准值要覆盖量具的工作量程，并此基准件是通过要评定的测量系统更高级别的测量系统进行校正合格。

6.4.2.1.2 仪校助理工程师/工程师确定1名仪校助理工程师对基准件进行测量。

6.4.2.2 测量试验的实施

6.4.2.2.1 若校准是正常程序的一部分（如卡尺，使用前归零），则应对量具进行自主校准；

6.4.2.2.2 由仪校助理工程师对5PCS基准件进行测量，每个基准件使用该量具测量12次，并将测量的数据填写在<测量系统线性评估报告>中。

6.4.2.3 试验结果的分析

仪校助理工程师/工程师将数据录入<测量系统线性评估报告>中进行分析。

6.4.2.4 线性评定

仪校助理工程师/工程师对分析的结果进行判断，判定的准则为：

（1）先看|t a|（2）再看|t b|同时满足上述1和2，测量系统的线性可以接受，反之，不可接受。

6.4.2.5 不合格测量系统的处理

若线性不可接受时，仪校助理工程师/工程师分析原因，仪器组对量具重新校准，相关部门提出改善对策并实施对策，仪校助理工程师跟进对策的实施和并根据6.4.2.1~6.4.2.4步骤再次评估。

6.4.3 稳定性（或称漂移）评定程序

6.4.3.1 试验工作准备

6.4.3.1.1 由QC助理工程师选取1PC基准件，该基准件应落在使用的量程中程数，并此基准件是通过要评定的测量系统更高级别的测量系统进行校正合格。

6.4.3.1.2 QC工程师确定1名QC助理工程师作为评价人。

6.4.3.2 测量试验的实施

6.4.3.2.1 若校准是正常程序的一部分（如数字卡尺，使用前归零），则应对电子类测量仪器进行自主校准；文件标题测量系统分析指引

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6.4.3.2.2 由QC工程师负责跟进对1PC的基准件使用该电子类测量仪器进行测量，每次测量4次，4次为1组，测量的频率为1组/1天，总共测量25组，并将测量的数据填写在<计量型量具稳定性评估报告>中。

6.4.3.3 试验结果的分析

QC助理工程师将数据录入电脑并用Minitab软件对数据进行Xbar-R管制图进行分析，并将Xbar-R图复制到<计量型量具稳定性评估报告>中。

6.4.3.4 稳定性（或称漂移）评定

QC助理工程师对分析的结果进行判断。判定的准则为：

上述测量数据所作成的Xbar-R管制图必须满足控制图的判定准则。

6.4.3.5 不合格测量系统的处理

QC工程师以上人员分析原因：

（1）若Xbar图不满足控制图的判稳准则，表明偏倚已经改变；

（2）若R图不满足控制图的判稳准则，表明不稳定的重复性。可能的原因是设备上零件的松动、气路阻塞、电压变化等。

仪器组及相关部门提出改善对策并实施对策，并对策的实施和并根据6.4.3.1~6.4.3.4步骤再次评估。

6.4.4 Gage R&R评定程序（采用方差分析进行评定）

6.4.4.1 试验工作准备

6.4.4.1.1 由QC组长选取10PCS同种零件样本，样本应在能代表整个作业范围的制程中挑选，并对其进行编号，编号必须隐蔽；

6.4.4.1.2 若测量人员是生产部，则由生产部科文/主管确定测量者A、B、C并填写<测量系统分析测量人员记录表>提交给QC部；若测量人员是QC部，则由QC助理工程师确定测量者A、B、C<测量系统分析测量人员记录表>。

6.4.4.2 测量试验的实施

6.4.4.2.1 若校准是正常程序的一部分（如卡尺，使用前归零），则应对量具进行自主校准；

6.4.4.2.2 QC组长依次安排测量者A、B、C按随机顺序测量10PCS样本，QC组长将测量数据记录于；

6.4.4.2.3 按6.4.4.2.2步骤进行第二、三次测量，QC组长将测量数据记录于。

6.4.4.3 试验结果的分析

6.4.4.3.1 QC部文员将测量的数据录入电脑；

6.4.4.3.2 QC助理工程师利用Minitab软件对数据进行分析，并打印出图表；

6.4.4.3.3 QC助理工程师利用Minitab软件对数据处理，将%重复性(%EV)、%再现性(%A V)、%双性（%Gauge R&R）、%零件间变差(%PV)、以及ndc(分级数)的值记录于中。

6.4.4.4 测量系统评定

6.4.4.3.1 QC助理工程师对试验结果的分析进行判断；

6.4.4.3.2 在Gauge R&R研究时按量具的重复性和再现性可接受的准则进行判定，同时满足（1）和（2）：

（1）ndc(数据分级数) ≥5

（2）%Gauge R&R：

当%Gauge R&R<10%时，测量系统接受；

当%Gauge R&R>30%时，测量系统不能使用；

当%Gauge R&R在10%~30%之间时，测量系统可以接受，但需要改善。

6.4.4.5 不合格测量系统的处理

若%Gauge R&R>10%时，QC助理工程师以上人员分析原因，相关部门提出改善对策并实施对策，QC助理文件标题测量系统分析指引

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工程师跟进对策的实施和并根据6.4.1.1~6.4.4.4步骤再次评估。

6.5 计数型量具测量系统评定程序（采用小样法进行评定）

6.5.1 试验工作准备

6.5.1.1 样本的数量、试验的次数及测量人数的确定

样本数量为20PCS，试验的次数2次，试验的人数2人；

6.5.1.2 由QC组长选取20PCS同种零件样本，并对其进行编号，编号必须隐蔽，样本的分配稍高于技术规范和稍低于技术规范各10PCS，并将样本状况记录于<计数型量具测量系统评估样板记录表>中；

6.5.1.3 若测量人员是生产部，则由生产部科文/主管确定测量者A、B并填写<测量系统分析评估测量人员记录表>提交给QC部；若测量人员是QC部，则由QC助理工程师确定测量者A、B<测量系统分析测量人员记录表>。

6.5.1.4 测量试验的实施

6.5.1.4.1 QC组长依次安排测量者A、B按随机顺序测量20PCS样本，QC组长并将测量结果记录于<计数型量具测量系统评估报告>中

6.5.1.4.2 按6.5.5.2.1步骤进行第二次测量，QC组长并将测量结果记录于<计数型量具测量系统评估报告>。

6.5.1.5 试验结果的分析

QC助理工程师根据测量的结果分析试验结果，并将结果记录于<计数型量具测量系统评估报告>中。

6.5.1.6 测量系统的评定

每个零件被测量4次，结果完全一致则接受量具。

6.5.1.7 不合格测量系统的处理

测量结果有不一致发生，QC助理工程师以上人员分析原因，相关部门提出改善对策并实施对策，QC助理工程师跟进对策的实施和并根据6.4.5.1~6.4.5.4步骤再次评估。

6.6 目视(外观)测量系统

6.6.1 试验工作准备

6.6.1.1 样本的数量、试验的次数及测量人数的确定

样本数量为20PCS，试验的次数2次，试验的人数3人；

6.6.1.2 由QC组长选取20PCS同种零件样本，并对其进行编号，编号必须隐蔽，样本的分配OK、NG各8PCS，临界OK、临界NG各2PCS，并将样本状况记录于<目视(外观)测量系统分析样板记录表>中；

6.6.1.3 若测量人员是生产部，则由生产部科文/主管确定测量者A、B、C并填写<测量系统分析测量人员记录表>提交给QC部；若测量人员是QC部，则由QC助理工程师确定测量者A、B、C<测量系统分析评估测量人员记录表>。

6.6.1.2 测量试验的实施

6.6.1.2.1 QC组长依次安排测量者A、B、C按随机顺序判定20PCS样本，QC组长并将测量结果记录于<目视(外观)测量系统评估数据记录表>中

6.6.1.2.2 按6.4.6.2.1步骤进行第二次测量，QC组长并将测量结果记录于<目视(外观)测量系统评估数据记录表>。

6.6.1.3 试验结果的分析

6.6.1.3.1 QC部文员将测量的数据录入电脑；

6.6.1.3.2 QC助理工程师利用Minitab软件对数据进行分析，并打印出图表；

6.6.1.3.3 QC助理工程师计算出评价人有效性、漏判率、误判率、系统有效性，并将结果记录于<目视（外观）测量系统评估报告>。

6.6.1.4 测量系统的评定

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版本 A0

管理体系管理体系子子程序

MANAGEMENT SYSTEM SUB-PROCEDURE (SUBMSP)

密级 秘密

文件编号 MSP-Z-024-001 文件标题

测量系统分析指引

审批记录 制作：尹利/2008-7-28 审核：梅春/2008-7-28审核：张治民/2008-7-29, 吴昊/2008-7-29批准：王世

平/2008-7-30 6.6.1.4.1 QC 助理工程师对试验结果的分析进行判断； 6.6.1.4.2 目视（外观）测量系统判定标准：

当系统有效性≥90%且漏判率≤2%且误判率≤5%，测量系统可以接受；

当系统有效性≥80%且漏判率≤5%且误判率≤10%，测量系统可以接受，但还需改进； 当系统有效性<80% 且漏判率>5%且误判率>10%， 测量系统不可以接受。 6.6.1.5 不合格测量系统的处理

测量结果不符合判定标准时，QC 助理工程师以上人员分析原因，相关部门提出改善对策并实施对策，QC 助理工程师跟进对策的实施和并根据6.6.1.1~ 6.6.1.4步骤再次评估

7 记录 序号 记录名称

表格编号 贮存场所 保存期限 1 Gage R&R 评估报告

TQC-185-A3 LCM-QC 3年 2 目视（外观）测量系统评估样板记录表 TQC-186-A3 LCM-QC 3年 3 测量系统分析测量人员记录表 TQC-192-A1 LCM-QC 3年 4 计数型量具测量系统评估样板记录表 TQC-206-A2 LCM-QC 3年 5 计数型量具测量系统评估报告 TQC-211-A2 LCM-QC 3年 6 目视(外观)测量系统评估数据记录表 TQC-207-A2 LCM-QC 3年 7 目视(外观)测量系统评估报告 TQC-208-A2 LCM-QC 3年 8 计量型测量系统分析数据记录表

TQC-184-A1 LCM-QC 3年 9 计量型测量系统稳定性评估报告 TQC-288-A1 LCM-QC 3年 10 测量系统线性评估报告 TQC-287-A0 LCM-QC 3年 11 测量系统偏倚评估报告 TQC-286-A0 LCM-QC 3年 12 测量系统分析计划 TQC-183-A2

LCM-QC

3年

8 附录

附录A ：<测量系统评估流程> CFFC-LCM-QC-012