COB Plasma 机维修报告

公司领导：

现在因产品KCM-1091生产工艺设变需使用Plasma Cleaner，但COB车间所使用的Plasma Cleaner机（型号：ZMC-PS05-A  序号：ZMC-PS05-6031-A）于2010年11月开机时出现一些异常故障，现就工程部维修情况和待处理问题报告如下，请参考：（因本设备供应商已经停止生产本设备，并且相关部门已经解散。所以无法再提供任何的售后服务和技术支援）

问题一 现象：开机时XY马达回原点时出现警报，机器断电后会出现数据丢失

  原因：PLC保存数据异常，运行位置数据丢失所致（见下图）

    处理方法：开机后重新设定位置数据，梁明峰建议将数据保存位置由PLC移到触摸屏保存，但需要再试（因现梁明峰没时间，还没完成）

问题二：

    现象：机器触摸屏经常在开机时出现黑屏

    原因：分析为触摸屏本身内部故障

    处理方法：更换新的触摸屏（已经完成）

问题三：

    现象：Plasma Cleaner火焰不稳定，时大时小，无法完成Plasma Cleaner效果测试，另外高周波功率调节异常（正常时最大200W但现在最大只能98W）

    原因：分析高周波发生器故障

    处理方法：因我司没有相关资料及技术维修，未能完成

问题四：

     用于作Plasma Cleaner效果测试的Wafer盘（见下图）即将用完（因之前此设备一直未用于生产，故未做备份）因韩国供应商已经解散故无法购买。

未完成

附高周波资料：（松下电工）

     MODEL：Aiplasma Cleaning

     TYPE：ANUCU13S-485-MFNC

     Lot No:  C050

     Date:  2006.01.20

  小结：基于有以上尚未完成的项目故本设备暂时不宜用于生产。

                                             报告人：王邦俊

                                                    2011-02-12