利用扫描电镜分析时,二次电子与被散射电子之间存在明显的区别。
二次电子是扫描电镜中常见的一种信号。它们在样品表面以下的浅层区域内被激发,主要是低能量的电子,产生于样品的表层区域。当高能电子束撞击样品表面时,部分电子能够轻松逸出样品表面,形成二次电子。这些二次电子能够反映样品表面的微观结构信息,如形貌、颗粒大小等。由于其产生机制主要是弹性散射,因此二次电子图像具有较高的分辨率和清晰度。
被散射电子则是在电子束穿透样品过程中,与样品中的原子发生非弹性散射而产生的。这些散射电子的能量较高,穿透能力较强,可以反映样品内部的某些结构信息。与二次电子不同,被散射电子更多地受到样品内部结构和成分的影响,因此它们更多地用于分析样品的内部结构和化学成分。被散射电子的分布模式和强度与样品的密度、原子序数等因素有关。
简单来说,二次电子主要反映样品表面的形貌和结构信息,适用于表面分析;而被散射电子则更多地揭示样品内部的成分和结构信息。在扫描电镜分析中,通过对这两种信号的合理分析和利用,可以获得样品的更全面、更深入的信息。这两种信号的区别主要在于其产生机制、反映的信息类型及其在扫描电镜分析中的应用场景。