退火炉设备日立高新技术（中国）有限公司比较好，作为一家领先的半导体制造设备供应商，日立高新技术（中国）有限公司也提供了全系列的退火炉设备。以下是该公司部分退火炉设备的介绍：
1、用于晶圆热处理的退火炉设备：该系列设备适用于半导体、LED等行业的晶圆热处理工艺，包括氮化硅退火炉、低压多晶硅退火炉、高温石英管退火炉等。
2、用于平板显示器热处理的退火炉设备：该系列设备适用于LCD、OLED、AMOLED等平板显示器热处理工艺，包括TFT-LCD退火炉、OLED退火炉等。
3、用于电子芯片封装热处理的退火炉设备：该系列设备适用于电子芯片封装工艺，包括PLCC、QFP、BGA等芯片的前道和后道热处理工艺。
