SF6断路器常见的故障包括开关拒合与拒分，这一问题通常由辅助开关转换不良、电磁铁线圈引线断开或接触不良等原因引起。此外，一级阀顶杆弯曲、卡死，油压过低，合闸阀保持回路大量泄漏等也是常见原因。分闸后立即合闸的问题多因手动时将合闸动铁芯的撞杆撞弯，铁芯卡滞引起。这类故障可通过拆下动铁芯，校正其位置并确保其在各个位置不卡滞来解决。
合闸后立即分闸的常见原因包括分闸动铁芯或一级分闸阀杆卡滞，致使分闸钢球不能完全复位，或合闸保持阀逆止钢球不能完全复位。油泵频繁启动打压，通常分为分闸位置、合闸位置及分合闸位置频繁启动打压。常见原因是外泄漏和内泄漏，例如接头和端口密封不严，密封件密封不严，分、合闸阀和放油阀密封不严等。具体处理方法包括拆下检查，修理后研磨及更换接头或密封圈。
液压操作机构的泄漏会导致短时频繁启泵打压或补压时间过长，甚至造成失压故障。泄漏原因主要为压力检测装置及压力组件损坏或异常，分合闸电磁铁线圈和一级阀顶杆，信号辅助开关故障等。处理泄漏问题时，需检查并修复三通阀和放油阀、高低压油管、压力表和压力继电器接头等部位。
密封件不良漏油是液压机构常见的问题，包括“O”形橡胶密封圈、V形密封件等。若发现密封圈失效，应立即更换。阀体密封不良漏油通常由密封配合精度差或密封表面粗糙度过大引起。处理方法包括清理元件毛刺、更换或修复密封件，严重磨损无法修复的需整体更换。
壳体的泄漏通常由铸件、焊件缺陷引起。对于油箱和氮气筒焊缝渗漏的情况，需进行补焊处理。SF6气体的补充和湿度检测也是确保设备正常运行的重要环节。充气前，需用合格的SF6气体吹拂充气管道，保持接口清洁，调节充气压力。测量SF6气体湿度时，需在干燥天气下进行，并使用专用管道进行测量。检测SF6气体漏气部位时，需先吹拂周围气体，使用检漏仪进行测量。
