氮化硅的钝化原理
来源：动视网
责编：小OO
时间：2024-09-18 02:04:30
氮化硅的钝化原理
制备氮化硅抗反射膜。氮化硅的钝化是采用等离子体将硅源物质(硅烷)和氮源物质(氮气)以一定比例混合，并利用高温等离子体条件催化气体反应，使氮气和硅烷气体分子迅速反应，能够在表面形成一层稳定的氮化硅抗反射膜。
导读制备氮化硅抗反射膜。氮化硅的钝化是采用等离子体将硅源物质(硅烷)和氮源物质(氮气)以一定比例混合，并利用高温等离子体条件催化气体反应，使氮气和硅烷气体分子迅速反应，能够在表面形成一层稳定的氮化硅抗反射膜。
制备氮化硅抗反射膜。氮化硅的钝化是采用等离子体将硅源物质(硅烷)和氮源物质(氮气)以一定比例混合，并利用高温等离子体条件催化气体反应，使氮气和硅烷气体分子迅速反应，能够在表面形成一层稳定的氮化硅抗反射膜。
氮化硅的钝化原理
制备氮化硅抗反射膜。氮化硅的钝化是采用等离子体将硅源物质(硅烷)和氮源物质(氮气)以一定比例混合，并利用高温等离子体条件催化气体反应，使氮气和硅烷气体分子迅速反应，能够在表面形成一层稳定的氮化硅抗反射膜。
