静电卡盘氦气孔打火

来源：动视网责编：小OO 时间：2024-09-27 05:56:39

1、表面脏污：静电卡盘表面有杂质或静电卡盘表面不干净，需清洁静电卡盘表面。2、密封不良：静电卡盘和氦气孔之间的密封圈不严密或损坏，需检查密封圈是否完好。

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导读1、表面脏污：静电卡盘表面有杂质或静电卡盘表面不干净，需清洁静电卡盘表面。2、密封不良：静电卡盘和氦气孔之间的密封圈不严密或损坏，需检查密封圈是否完好。

题主是否想询问“静电卡盘氦气孔为什么打不了火”？表面脏污，密封不良。
1、表面脏污：静电卡盘表面有杂质或静电卡盘表面不干净，需清洁静电卡盘表面。
2、密封不良：静电卡盘和氦气孔之间的密封圈不严密或损坏，需检查密封圈是否完好。

1、表面脏污：静电卡盘表面有杂质或静电卡盘表面不干净，需清洁静电卡盘表面。2、密封不良：静电卡盘和氦气孔之间的密封圈不严密或损坏，需检查密封圈是否完好。

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