超纯水（UPW）是半导体、液晶、芯片及光伏产业生产的重要间接材料之一。超纯水即接近纯态的水，其电阻率一般以18MΩ·cm界定，极限值为18.3MΩ·cm，通俗的理解为超纯水不导电。除了电阻率在18MΩ·cm以上这个条件外，超纯水还有细菌、硅（以二氧化硅计）、颗粒、TOC、DO等指标。目前，超纯水没有国家标准，一般根据各公司的用水标准而定。半导体行业对超纯水的要求较高，而光伏行业的要求则相对较低。
蒸馏水，常说的蒸馏水指一次蒸馏水，定义不足3级水，电阻率低于0.1MΩ·cm，可用于一般行业如医学、食品及实验室用水。蒸馏水的杂志含量较高，因此其质量相对较差。其定义可参考百度百科中的描述。
介于超纯水和蒸馏水之间的还有去离子水（DIW）及二（多）次蒸馏水等。去离子水通过离子交换树脂去除水中的离子杂质，而多次蒸馏水则通过多次蒸馏过程来提高水质。这些水处理技术都能有效提高水的质量，使其适合不同的应用需求。
超纯水和蒸馏水之间的差异主要体现在水质标准上。超纯水的水质要求更高，能够满足半导体、液晶、芯片及光伏产业对水质量的严格要求。而蒸馏水虽然也能满足一般行业的用水需求，但在某些领域，如高精度检测和生产过程中，其质量可能无法满足要求。如有疑问，可以进一步探讨。
