FZH-2型复合真空计

FZH-2型复合真空计是一种由热偶和电离两部分复合而成的仪表，适用于实验室和镀膜行业的生产车间。该仪表的主要技术数据包括：测量范围为热偶部分1×10²～1×10^-1Pa，电离部分1×10^-1～1×10^-5Pa；热偶加热电流为90～150mA，加热电流稳定度±1%；发射电流稳定度±1%，电离发射电流5mA；放大器稳定度±2%；体积及重量为119×400×230(mm)，5kg；电源为220V AC 50Hz；电离部分有0～5V址流信号分档输出。

该仪表采用了新的线路、器件和机箱设计，放大器的零点漂移减少到不超过±1%，重量减少了约1/3。在确保测量精度的前提下，精简了操作机构，使用、操作及维修更为简便。

该复合真空计的规管型号为ZJ-51+ZJ-2和FB-1，测量范围分别为1.0×10^-1～1.0×10^-5Pa和320×119×280(mm)。接通电源预热10min后，将K6置于加热位置（见图8），调整电流调节钮至启封电流值。热偶规管开封前的真空度为133.322×10^-4～133.322×10^-5Pa，在连接至真空系统前，应确保热偶规管与复合真空计连接，使规管垂直向上（管座向下），接通电源开关，K6置于测量位置，调整电流调节钮至电流表满刻度，持续3min。之后将K6置于加热位置，从电表第三行刻度读取加热电流值，重复测量三次，此电流即为该热规管工作时的电流，称为启封电流。最后将K6拨至测量位置，读取压强值。如有两个热偶规管，将开关K6置于加热位置1或2，分别对管1或管2进行测量。

当体系真空度达到133.322×10^-2～133.322×10^-3Pa时，开始用电离规测量高真空。使用电离规的方法为：将K6置于断位置，接通电源预热10min，K4置于发射位置，K3置于测量位置，接通规管灯丝（K2），旋发射调节旋钮至5×10^-3A（表上有红线）。然后将K4置于零点位置，旋零点调节旋钮使电表指零。接着将K5置于校准位置，K4置于测量位置，旋校准调节旋钮使电流表指针满刻度10处，最后将K5指向10^-4、10^-5处即可测量系统真空度。在去气过程中，旋发射调节旋钮至5×10^-3A，K3置于“去气”位置，K4置于零点位置，去气时间约10～15min，去气完毕后，K3置于测量位置，K5指向10^-4、10^-5处，测量系统真空度。