光刻线宽损失10%和宽度有关?
来源：动视网
责编：小OO
时间：2024-12-06 13:42:28
光刻线宽损失10%和宽度有关?
有关。光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差，较大的线宽也导致了光刻线宽的损失。光刻线宽是指光刻水平的标志，以加工的线宽来标志集成电路发展的水平。
导读有关。光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差，较大的线宽也导致了光刻线宽的损失。光刻线宽是指光刻水平的标志，以加工的线宽来标志集成电路发展的水平。
有关。光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差，较大的线宽也导致了光刻线宽的损失。光刻线宽是指光刻水平的标志，以加工的线宽来标志集成电路发展的水平。
光刻线宽损失10%和宽度有关?
有关。光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差，较大的线宽也导致了光刻线宽的损失。光刻线宽是指光刻水平的标志，以加工的线宽来标志集成电路发展的水平。
