电子显微镜的理论分辨率因其类型和操作条件的不同而有所差异，但通常远高于光学显微镜。一般来说，电子显微镜的理论分辨率可以达到亚纳米级别，即0.1纳米或更高。
电子显微镜使用电子束而非可见光来成像，这是其高分辨率的关键。电子的波长比可见光短得多，根据波粒二象性原理，高速电子的波长可达0.0053至0.0037纳米。由于显微镜的分辨率受其使用的波长的限制，因此电子显微镜能够提供比光学显微镜更精细的图像。
在电子显微镜中，透射电子显微镜和扫描电子显微镜是两种常见类型。透射电子显微镜通过将电子束穿透样品并用电子透镜成像放大来获得样本的内部结构信息。其分辨率主要受电子束波长和样品厚度的影响。而扫描电子显微镜则是通过聚焦电子束扫描样品表面并检测激发出的次级电子来成像，其分辨率主要取决于电子束在样品表面上的直径。
总之，电子显微镜的理论分辨率远高于光学显微镜，能够达到亚纳米级别。这使得电子显微镜成为研究微观世界、观察纳米材料和结构的重要工具。通过不同类型的电子显微镜，科学家们能够获取样品内部或表面的详细信息，从而推动各领域的科学研究和技术进步。
