蚀刻补偿计算公式
来源：动视网
责编：小OO
时间：2024-12-02 21:29:27
蚀刻补偿计算公式
蚀刻补偿是在光刻工艺中，为了解决线宽偏差问题而采取的一种补偿措施。在光刻工艺中，光刻胶的线宽是关键参数之一，而线宽的偏差会直接影响到器件的性能和可靠性。因此，为了提高线宽的精度和一致性，蚀刻线宽补偿技术应运而生。
导读蚀刻补偿是在光刻工艺中，为了解决线宽偏差问题而采取的一种补偿措施。在光刻工艺中，光刻胶的线宽是关键参数之一，而线宽的偏差会直接影响到器件的性能和可靠性。因此，为了提高线宽的精度和一致性，蚀刻线宽补偿技术应运而生。
该计算公式：补偿量等于（蚀刻时间/蚀刻速率） 乘（原模板线宽减目标线宽） 乘2。蚀刻补偿是在光刻工艺中，为了解决线宽偏差问题而采取的一种补偿措施。在光刻工艺中，光刻胶的线宽是关键参数之一，而线宽的偏差会直接影响到器件的性能和可靠性。
因此，为了提高线宽的精度和一致性，蚀刻线宽补偿技术应运而生。
蚀刻补偿计算公式
蚀刻补偿是在光刻工艺中，为了解决线宽偏差问题而采取的一种补偿措施。在光刻工艺中，光刻胶的线宽是关键参数之一，而线宽的偏差会直接影响到器件的性能和可靠性。因此，为了提高线宽的精度和一致性，蚀刻线宽补偿技术应运而生。
