为什么硅片最容易延110晶面裂开
来源:懂视网
责编:小OO
时间:2024-12-02 22:35:11
为什么硅片最容易延110晶面裂开
硅晶体具有金刚石结构,每个硅原子与周围四个硅原子形成共价键,构成一个稳定的四面体结构,在硅片制备过程中,通常采用熔融硅或气相沉积等方法生长硅晶体,在生长过程中,硅原子会按照一定的规律排列,形成不同的晶面,其中,110晶面是硅晶体中一个重要的晶面,其原子密度较低,能量较高,因此容易发生裂开。
导读硅晶体具有金刚石结构,每个硅原子与周围四个硅原子形成共价键,构成一个稳定的四面体结构,在硅片制备过程中,通常采用熔融硅或气相沉积等方法生长硅晶体,在生长过程中,硅原子会按照一定的规律排列,形成不同的晶面,其中,110晶面是硅晶体中一个重要的晶面,其原子密度较低,能量较高,因此容易发生裂开。

它最容易延110晶面裂开原因与其晶体结构有关。硅晶体具有金刚石结构,每个硅原子与周围四个硅原子形成共价键,构成一个稳定的四面体结构,在硅片制备过程中,通常采用熔融硅或气相沉积等方法生长硅晶体,在生长过程中,硅原子会按照一定的规律排列,形成不同的晶面,其中,110晶面是硅晶体中一个重要的晶面,其原子密度较低,能量较高,因此容易发生裂开。
为什么硅片最容易延110晶面裂开
硅晶体具有金刚石结构,每个硅原子与周围四个硅原子形成共价键,构成一个稳定的四面体结构,在硅片制备过程中,通常采用熔融硅或气相沉积等方法生长硅晶体,在生长过程中,硅原子会按照一定的规律排列,形成不同的晶面,其中,110晶面是硅晶体中一个重要的晶面,其原子密度较低,能量较高,因此容易发生裂开。