步进扫描光刻机属于步进机吗
来源：动视网
责编：小OO
时间：2024-08-12 03:44:36
步进扫描光刻机属于步进机吗
步进扫描光刻机属于步进机，在晶圆制造中，常用的光刻机有两种，一种是步进重复式光刻机，另一种是步进式光刻机，也称步进扫描光刻机。步进扫描光刻机通过配置不同波长的光源，可用于不同的工艺技术节点，光源覆盖了从365nm（i线）、248nm（KrF）、193nm（ArF）、193nm（ArF）浸入式以及13.5nm的EUV光源。
导读步进扫描光刻机属于步进机，在晶圆制造中，常用的光刻机有两种，一种是步进重复式光刻机，另一种是步进式光刻机，也称步进扫描光刻机。步进扫描光刻机通过配置不同波长的光源，可用于不同的工艺技术节点，光源覆盖了从365nm（i线）、248nm（KrF）、193nm（ArF）、193nm（ArF）浸入式以及13.5nm的EUV光源。
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步进扫描光刻机属于步进机，在晶圆制造中，常用的光刻机有两种，一种是步进重复式光刻机，另一种是步进式光刻机，也称步进扫描光刻机。步进扫描光刻机通过配置不同波长的光源，可用于不同的工艺技术节点，光源覆盖了从365nm（i线）、248nm（KrF）、193nm（ArF）、193nm（ArF）浸入式以及13.5nm的EUV光源。
步进扫描光刻机属于步进机吗
步进扫描光刻机属于步进机，在晶圆制造中，常用的光刻机有两种，一种是步进重复式光刻机，另一种是步进式光刻机，也称步进扫描光刻机。步进扫描光刻机通过配置不同波长的光源，可用于不同的工艺技术节点，光源覆盖了从365nm（i线）、248nm（KrF）、193nm（ArF）、193nm（ArF）浸入式以及13.5nm的EUV光源。
