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CVD设备对培育钻石火球的影响因素

来源:懂视网 责编:小OO 时间:2024-10-18 09:11:11
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CVD设备对培育钻石火球的影响因素

机器的结构、机器的材质、腔体密封性效果的好坏、气体的纯度、各种气体流量的相互比率、生长的速率、腔压的大小、等离子体功率的大小、生长温度、生长时钻石晶体的颜色明暗、晶种片排放的间距、钻石晶体和等离子体的距离、等离子体的形状及不同位置的密度、等离子体的稳定性、冷却水的温度。这些都是影响CVD设备对培育钻石火球的因素。
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