光刻机加速器哪个好
来源:懂视网
责编:小OO
时间:2024-09-30 05:18:43
光刻机加速器哪个好
1、使用的光源是第四种,使用高能二氧化碳激光轰击液态金属锡激发极紫外光。2、可产生高功率光,无碎屑污染,可稳定出光。
导读1、使用的光源是第四种,使用高能二氧化碳激光轰击液态金属锡激发极紫外光。2、可产生高功率光,无碎屑污染,可稳定出光。

ASML的EUV光刻机。
1、使用的光源是第四种,使用高能二氧化碳激光轰击液态金属锡激发极紫外光。
2、可产生高功率光,无碎屑污染,可稳定出光。
光刻机加速器哪个好
1、使用的光源是第四种,使用高能二氧化碳激光轰击液态金属锡激发极紫外光。2、可产生高功率光,无碎屑污染,可稳定出光。