

真空泵的抽气量可以通过S=2.303V/tLog(P1/P2)公式进行计算,其中S代表抽气速率(L/s),V是真空室的容积(L),t是达到所需真空度的时间(s),P1是初始真空度(Torr),P2是目标真空度(Torr)。例如,若V=500L,t=30s,P1=760Torr,P2=50Torr,那么抽气速率S大约为35.4L/s。
在实际选择真空泵时,需要考虑以下几个关键因素:
1.工艺过程的振动要求:如果工艺不允许振动,应选择无振动泵或采取防振措施。
2.被抽气体特性:了解气体成分,如可凝蒸气、颗粒灰尘和腐蚀性等,根据气体成分选择适合的真空泵,可能需要额外的辅助设备如冷凝器和除尘器。
3.抽气效率:确保真空泵能在工作压强下排走所有工艺气体,可能需要组合多个泵以满足抽气需求。
4.油污染:根据设备对油污染的要求,选择无油泵或配备防油污染设施。
5.工作压强选择:真空泵的工作压强应在其稳定范围内,不应使其在极限压强下长时间运行。
6.环境影响:考虑油蒸气排放对环境的影响,如选择无油泵或处理油蒸气。
7.经济因素:包括真空泵的购置成本、运行和维护费用。
以上是真空泵选择和抽气量计算时需要考虑的关键要素,具体操作时应根据实际工况进行综合评估。
