光伏电池片ald制备氧化铝化学原理
来源：懂视网
责编：小OO
时间：2024-10-18 19:17:32
光伏电池片ald制备氧化铝化学原理
1、气相前驱体：在ALD制备过程中，需要选取合适的气相前驱体，一般选择有机铝化合物如三甲基铝（TMA）或三乙基铝（TEA）作为气相前驱体。2、氧化剂：氧化剂一般选取水蒸气、氧气或臭氧等。
导读1、气相前驱体：在ALD制备过程中，需要选取合适的气相前驱体，一般选择有机铝化合物如三甲基铝（TMA）或三乙基铝（TEA）作为气相前驱体。2、氧化剂：氧化剂一般选取水蒸气、氧气或臭氧等。
气相前驱体、氧化剂。
1、气相前驱体：在ALD制备过程中，需要选取合适的气相前驱体，一般选择有机铝化合物如三甲基铝（TMA）或三乙基铝（TEA）作为气相前驱体。
2、氧化剂：氧化剂一般选取水蒸气、氧气或臭氧等。
光伏电池片ald制备氧化铝化学原理
1、气相前驱体：在ALD制备过程中，需要选取合适的气相前驱体，一般选择有机铝化合物如三甲基铝（TMA）或三乙基铝（TEA）作为气相前驱体。2、氧化剂：氧化剂一般选取水蒸气、氧气或臭氧等。
